德国布鲁克 Dimension FastScan Bio 原子力显微镜
德国布鲁克 ATOMIC FORCE MICROSCOPE NanoWizard Sense+
德国布鲁克 JPK ForceRobot 生物型原子力显微镜
德国布鲁克 原子力显微镜 NanoWizard ULTRA Speed 2
德国布鲁克 JPK CellHesion 300 生物型原子力显微镜
仪器简介:
Innova扫描探针显微镜(SPM)具有高扫描分辨率、出色品质,可应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。Innova具有很强的灵活性,能以较低成本满足各种科研应用要求。采用du一无二的闭环扫描线性系统,zhuo越的设计及工艺确保测量精度以及接近于开环运行时的噪音水平。Innova可以轻松的在90微米扫描管上实现原子级分辨率。集成的高分辨率彩色光学系统,以及可编程和电动Z轴载物台,使得寻找、对准被测区域,更换针尖或样品更加快速简便。
技术参数:
闭环扫描管:XY > 90 μm,Z > 7.5 μm
开环扫描管:XY > 5 μm, Z > 1.5 μm
样品尺寸: X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm
电动Z轴载物台:Z轴行程: 18mm
光学系统: 摄像头: 轴线彩色CCD,带电动变焦
视场: 1.24mm x0.25mm (电动变焦,10x物镜)
分辨率: <2μm,标准10x物镜(50x物镜<0.75μm)
电子电路:20位DAC控制器,100kHz、±10v ADCs,数字反馈器件
系统软件:用于数据采集和分析的SPMLab™ v7.0,Windows® XP
主要特点:
Innova在同类SPM中,性价比zui高
· 独有的闭环扫描控制,在开环噪声水平上提供三维精确测
· 高分辨光学系统辅助精确探针定位
· 快速更换探针, 开放的样品台设计使得使用更方便,更容易
· 拥有所有SPM操作模式,为科学研究提供更高的应用灵活性
· 卓越的信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法
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Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比,高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
对于工程师来说,识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程,Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别,通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。
Park Systems推出NX-3DM全自动原子力显微镜系统,专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。
CSI是一家法国科学设备制造商,拥有专业的AFM设计概念,以及为现有的AFM提供设计选项。它避免了激光对准需要预先定位针尖的系统,针尖/样品的顶部和侧视图,结合垂直的马达控制系统,使预先趋近更加容易。
EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点,可高速获得高分辨率的三维图像,并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用,与常规SEM/FIB兼容,