二次电子像分辨率 0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ）
分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA )
倍率 Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm）
Display magnification: x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）
加速电压 0.1 ～ 30 kV
探针电流 数 pA ～ 200 nA
电子枪 浸没式肖特基场发射电子枪
透镜系统 聚光镜（CL）、 Z 佳光阑角控制镜（ACL）、 半浸没式物镜（OL）
样品台 全对中测角样品台、5轴马达驱动
电子检测器系列 高位检测器、 r‐过滤器 内置、 低位检测器
自动功能 自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节
图像观察用
液晶显示器 屏幕尺寸 23英寸宽屏
分辨率 1,920 × 1,080像素
抽真空系统 电子枪室／中间室 SIP 离子泵
样品室 TMP 分子泵
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