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扫描电子显微镜的主要性能
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本文由 上海西努光学科技有限公司 整理汇编
2019-01-02 15:49 1019阅读次数
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扫描电子显微镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。扫描电子显微镜用于材料领域,用于生命科学领域。扫描电子显微镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。革命性的的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的GX率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
扫描电子显微镜广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，扫描电子显微镜快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
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扫描电子显微镜的主要性能- 扫描电子显微镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。扫描电子显微镜用于材料领域,用于生命科学领域。扫描电子显微镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。革命性的的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。样品台为五轴全自动控制。标准的GX率无油涡轮分子泵能够满足快速的样品更换和无污染(免维护)成像分析。
扫描电子显微镜广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，扫描电子显微镜快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。[详细]
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2019-01-02 15:49
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扫描电子显微镜的应用- 扫描电子显微镜的应用[详细]
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2010-07-20 00:00
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- 台式扫描电子显微镜[详细]
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2012-07-27 00:00
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- 蔡司 EVO扫描电子显微镜
- 蔡司 EVO扫描电子显微镜[详细]
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2025-07-23 14:50
产品样册
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- 扫描电子显微镜的工作原理讲解
- 工作原理：
扫描电子显微镜由电子枪发射出电子束(直径约50um)，在加速电压的作用下经过磁透镜系统汇聚，形成直径为5 nm的电子束，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描，电子和样品相互作用产生信号电子。这些信号电子经探测器收集并转换为光子，再经过电信号放大器加以放大处理，成像在显示系统上。
试样可为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。由电子枪发射的能量为5～35keV的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序做栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射(以及其他物理信号)，二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电信号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，扫描电子显微镜得到反应试样表面形貌的二次电子像。[详细]
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2019-02-22 09:08
课件
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- 日立扫描电子显微镜的现状分析
- 日立扫描电子显微镜是一台场发射扫描电子显微镜，采用冷阴极场发射枪、高真空和精密的数字技术，可进行显微结构的高分辨率、高质量成像。本系统装配锥形场发射枪和物镜，可以在任何扫描速度下进行高分辨率的成像以及高质量的实时图像显示，使您即使在明亮的房间里也可观察和记录清晰的图像，可以处理直径Zda为8英寸的样品。
日立扫描电子显微镜是智能计算机扫描电子显微镜，保证了与未来计算机技术的兼容性。它的图形用户界面可以控制条件设置、样品台马达驱动、成像和数据存档，确保操作稳定可靠。系统的主计算机采用了高级网络技术的Window? 2000，方便于从成像到数据处理的整个过程，使操作人员可以显示实时图像、通过网络将数据保存到外接电脑、检索和管理数据。[详细]
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2019-04-09 09:08
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- 环境扫描电子显微镜的成像特点
- 环境扫描电子显微镜的成像特点[详细]
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2024-09-20 13:31
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2009-07-19 00:00
选购指南
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- 台式扫描电子显微镜产品样册
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2016-10-19 17:10
操作手册
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- FEI Quanta 系列扫描电子显微镜
- FEI Quanta 系列扫描电子显微镜[详细]
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2025-08-04 10:22
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- 日立 SU3500 扫描电子显微镜SEM[详细]
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2025-07-31 16:40
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- 有序多孔膜的扫描电子显微镜观察
- 有序多孔膜的扫描电子显微镜观察[详细]
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2015-08-19 00:00
操作手册
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- 扫描电子显微镜的功能及用途说明
- 扫描电子显微镜主要由七大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。
具体功能用途归纳如下：
1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)；
2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定-化学成分像分布，微区化学成分分析；
3、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。
4、扫描电子显微镜在半导体器件研究中的特殊应用：
1)利用电子束感生电流进行成像，可以用来进行集成电路中的定位和损伤研究。
2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。
3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面[详细]
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2020-04-26 09:46
标准
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实验操作
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