产品特点
◆ 远程离子清洗源
◆ 清洗快速、高效
◆ 低轰击损伤
技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40（CF40） |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz 射频电源，射频功率 5-150W 可调 |
远程等离子源，自动匹配器 | |
气体控制 | 标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7 寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
电源 / 功率 | AC220V，50/60Hz，300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥ 99.999％，输出流量 0-500SCCM |
质量保证 | 二年质保，终身维护 |
产品尺寸 | L320xW385xH465mm |
包装尺寸 | L440xW535xH725mm |
整机重量 | 25 |
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