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用SEM测超薄薄膜厚度,如何制样才能保证导电性足够好?

812400986 2014-04-29 08:06:48 620  浏览
  • 薄膜是以溶胶凝胶法涂在Pt/Ti/SiO2/Si基片上的,厚度大概50nm,用扫描电镜测量薄膜厚度时如何制样才能保证导电性足够好?

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全部评论(5条)

  • 9youshop 2014-04-30 00:00:00
    固定一面到夹具上喷金,上SEM上次有个师妹一起做SEM,看到100nm左右的薄膜,只能慢慢尝试 查看原帖>>

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  • 秋风扫落叶127 2014-04-30 00:00:00
    可以有两个办法解决,一个是使用高分辨扫描电镜,即场发射电镜,样品无需导电而且分辨率较高。第二个是使用X射线衍射或者荧光,采用计算的方法可以获得膜厚。建议楼主Z好不要为了在扫描电镜下获得清晰图像而贸然喷金,你的薄膜本身厚度很薄,喷上一层如果存在不均匀性,检测出的结果不可信。 查看原帖>>

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  • cherryzouli 2014-04-30 00:00:00
    想准确测定厚度还是很麻烦的,关键就在于制样,关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的,标准名称我不太记得了,改天给你发过来也行(如果需要),大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍,然后把材料固化在树脂中,再做截面,或者抛光,然后再测定,关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题,喷金或者喷碳就可以解决. 查看原帖>>

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  • ovgevrqd 2014-04-30 00:00:00
    想准确测定厚度还是很麻烦的,关键就在于制样,关于镀层或者薄膜厚度的测定有相关标准的,标准名称我不太记得了,改天给你发过来也行(如果需要),大概意思是说在要测的镀层外面再镀一层镍,然后把材料固化在树脂中,再做截面,或者抛光,然后再测定,关键是不要破坏镀层.关于SiO2不导电的问题,喷金或者喷碳就可以解决.

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  • 没泪怎哭 2014-04-30 00:00:00
    SEM?FSEM的话,勉强可以看到,会漂移的很厉害,喷金可以改善导电性 查看原帖>> 麻烦采纳,谢谢!

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在进行ICP-OES分析之前,首先要对样品进行适当的制备,以确保分析结果的准确性。ICP-OES分析需要液态样品,这就要求原始样品通过一系列的步骤转化为溶液形式。常见的样品制备方法包括酸溶解、稀释以及特殊样品的预处理。

样品溶解是ICP-OES样品制备中基本的步骤。许多固态样品(如矿石、土壤、金属等)通常通过强酸处理进行溶解,常用的酸包括硝酸、氯酸、氟酸等。针对不同的样品,选择适当的酸和溶解条件是确保样品完全溶解并避免某些元素损失的关键。例如,硝酸用于大多数金属和矿石的溶解,而氟酸则用于硅酸盐矿物的溶解。在这一过程中,酸的浓度、温度以及加热时间的控制都直接影响到样品溶解的效果。

在溶解后,样品可能会存在一些不溶物或杂质,这时需要对溶液进行过滤或离心处理,以去除悬浮物。经过溶解和过滤的溶液,通常还需要根据ICP-OES仪器的要求进行稀释。稀释是为了确保样品中待测元素的浓度在仪器的量程范围内,避免因为过高的浓度导致光谱信号饱和,影响测量结果的准确性。

某些复杂样品(如生物样品、食品样品等)可能含有有机物质或脂肪等成分,这些成分可能干扰ICP-OES的分析。在这种情况下,可能需要进行额外的预处理,如湿法消解(即通过酸和加热将有机物完全分解),以确保样品中的干扰物被有效去除,保证ICP-OES的分析结果不受影响。

值得注意的是,样品的溶解速度与所用溶剂的种类密切相关。有些溶剂可能由于化学反应或过强的酸性而损害仪器,因此,选择合适的溶剂和操作条件至关重要。对于极其难溶的样品,可以考虑采用微波消解技术,通过高温高压环境加速样品溶解过程,这种方法能够显著提高溶解效率和准确性。

在样品溶解并准备好进行ICP-OES分析后,操作人员应确保溶液的均匀性,避免因溶液中元素浓度不均而导致分析结果偏差。在制样过程中要严格按照标准操作规程(SOP)进行,以确保制样的一致性和可靠性。

ICP-OES样品的制备过程虽然繁琐,但其对分析结果的准确性至关重要。通过科学合理的样品前处理,可以有效提高ICP-OES分析的灵敏度和准确度。操作人员在实际工作中需要根据不同样品的性质选择合适的制样方法,确保样品的稳定性和一致性,从而为ICP-OES的成功分析奠定坚实基础。

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