镀膜机开扩散泵报警什么原因？

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  Hgddpjgfdgk 2012-12-07 00:00:00

  什么情况，能说的具体点吗？？

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  aaiuluo00374 2012-12-09 00:00:00

  扩散泵没有通水，水流监控报警。

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  qq2837125958 2012-12-09 00:00:00

  是什么设备？报警是说开机就响警报呢，还是说有扩散泵报警这个项目？ 一般情况下，扩散泵冷却水会有保护系统，因为扩散泵温度高，冷却水不通会出大问题。你看一下是水没流，还是水感应探头的信号没有到设备上。真空泵内压力会有一个报警探测器，如果本来是保真空的，开了后探测器感应不到真空也会报警。如果是这样，应该有一个压力上下限的限位，找到调整一下重新打开就好了。

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  tC恺镘 2012-12-08 00:00:00

  检查扩散泵上的循环水还有吗~或者是扩散泵循环水上的传感坏了

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