可以使用透明固体改变光刻的光源波长吗
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浸没式光刻技术是使用水，会带来一系列的水循环的控制问题。我想为什么不直接在光刻胶上注水，然后让它结冰呢？冰的折射率与水相差不大，因此可以减少去离子水作为浸没液体的控制问题。
全部评论(1条)
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- 三灌墓渍颂Mc8 2017-06-03 00:00:00
- 光刻是利用一种叫光阻剂的材料通过曝光显影来完成的，这种光阻剂只有在黄色是管线下才不会被曝光，当需要曝光的时候会在一台专门的设备里曝光！
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