真空泵原理

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  我去切片 2017-12-16 16:29:28

  应该是环境气压高有可能达不到极限真空。不过要看什么种类的泵，如果是滑阀真空泵，应完全不受影响。 机械式真空泵工作原理都是持续的抽取气体，使一定体积的气体被隔离到泵里面的空间内，再排出去，这样容器里的气体会越来越稀薄，这样随着容器内气体越来越少，泵的抽气效率也会越来越低，到Z终各个密封部分（包括容器和泵本身）的漏气速率和抽气速率一样，真空就不再提升。

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  载边痹 2016-01-10 12:31:20

  应该是环境气压高有可能达不到极限真空。不过要看什么种类的泵，如果是滑阀真空泵，应完全不受影响。 机械式真空泵工作原理都是持续的抽取气体，使一定体积的气体被隔离到泵里面的空间内，再排出去，这样容器里的气体会越来越稀薄，这样随着容器内气体越来越少，泵的抽气效率也会越来越低，到Z终各个密封部分（包括容器和泵本身）的漏气速率和抽气速率一样，真空就不再提升。 1、分类 a类，机械泵：油封机械泵（单级），油封机械泵（双级），分子泵，罗茨泵； b类，蒸汽喷射泵：水银扩散泵，油扩散泵，油喷射泵；c类，干式泵：溅射离子泵，钛升华泵，吸附泵，冷凝泵，冷凝吸附泵。 2、各自结构，a机械泵就是通过机械原理抽气而抽真空的，一般都有定子，转子，和旋片，阀门等组成。机械泵一般抽真空度较低，油封机械泵抽到10（-2）次方就不能往下抽了，但罗茨泵和分子泵由于其巧妙的设计，可以抽到10（-4）甚至更高。b蒸汽喷射泵就是利用加热气化使高速喷出的蒸汽的动量携带气体分子出来，从而抽真空的，蒸汽喷射泵因为是由蒸汽携带气体出来的，一般都会有蒸汽污染。注：蒸汽携带气体出来之后蒸汽会冷凝回流，再蒸发，再携带，依次循环。蒸汽喷射泵抽的真空度比一般机械泵高，但是也高不了多少，主要是会有污染。 c干式泵，每种的原理结构都大不同，优点就是无污染，抽的真空度高，能抽高真空，Z高可以达到10（-12）的极限真空，缺点是技术要求太高了，而且抽到10（-12）一般来说连续抽个几个月才能达到，时间好长哦。我用冷凝泵抽到10（-4）都得四五个小时哦，而且干式泵无法从大气压直接抽到高真空，得用前两种泵抽到一定真空度后，干式泵才能开始工作，继续抽到更高真空。

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