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真空镀膜机的弧源工作原理是怎么样的

vitasoy丶 2015-08-24 13:12:33 424  浏览
  •  

参与评论

全部评论(1条)

  • 夭夭桃枝 2015-08-25 00:00:00
    真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,

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