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真空镀膜机由哪几部分组成的?

blueveapon 2017-07-17 10:01:00 402  浏览
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全部评论(1条)

  • licky0008 2017-07-18 00:00:00
    高真空镀膜机,镀膜机是目前制作真空条件应用Z为广泛的设备.其相关组成及各部件:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统. 下面本人详细介绍各部分的组成及工作原理. 一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用Z多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦.

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