JEOL FE-SEM 的Z佳光阑角控制镜
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JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控制镜(ACL),这样,即使照射样品的探针电流很大,与从前相比, 也能获得很小的电子束斑。
大探针电流时,用ACL 能获得很小的电子束斑。
探针电流大的时候,束斑直径也变大。
样品: 金属材料 (Cu、Ag、Sn、Pb)
倍率:×15,000
加速电压: 5 kV
探针电流 50 nA
Z小化的分析体积使用较低的加速电压, 较大的探针电流Z小化的面分布速度可以减少对样品的损伤
高空间分辨率的微区元素面分布及快速测试
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- JEOL FE-SEM 的Z佳光阑角控制镜
JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控制镜(ACL),这样,即使照射样品的探针电流很大,与从前相比, 也能获得很小的电子束斑。
大探针电流时,用ACL 能获得很小的电子束斑。
探针电流大的时候,束斑直径也变大。
样品: 金属材料 (Cu、Ag、Sn、Pb)
倍率:×15,000
加速电压: 5 kV
探针电流 50 nA
Z小化的分析体积使用较低的加速电压, 较大的探针电流Z小化的面分布速度可以减少对样品的损伤
高空间分辨率的微区元素面分布及快速测试
- JEOL FE-SEM 采用Z佳光阑角控制镜
Z新型的场发射扫描电镜JEOL FE-SEM采用了Z佳光阑角控制镜,因此,即使在很大的探针电流下也能获得很小的电子束斑。此外,使用低加速电压进行元素分析,可以减小电子束在样品中的扩展区域,能进行高空间分辨率的微区分析。
探针电流增大时,通过光阑角控制镜 能获得小的探针直径。
探针电流增大时, 探针直径也变大。
低加速电压下减少电子束在样品中的扩展,同时利用大探针电流进行快速分析。
能够在微区进行高空间分辨率的分析
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