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石英坩埚透明层如何形成的

yl830627 2011-06-12 14:06:57 400  浏览
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参与评论

全部评论(4条)

  • 规划设计设计 2011-06-17 00:00:00
    直拉单晶用石英坩埚也加电弧法石英坩埚,通过电弧变压器使得碳棒通电引弧产生高温,使电弧高温辐射到石英砂原料表面产生玻璃态再施以真空泵抽真空,真空开启时间决定透明层的厚度。若不抽真空其表面也是透明的玻璃层就是薄一点,其他坩埚壁厚就是以小气泡的形式存在。

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  • fei_521996 2011-06-14 00:00:00
    如果是热涂型坩埚的话,是在熔融Z后(此时坩埚有外层,内层,透明一层)加入钡粉 (构成透明儿层)电弧烧结而成;特点是融合度好,不易脱落; 如果是冷涂得坩埚,则是机器自动(此时坩埚有外层和内层,在内层喷涂钡溶液)喷涂上钡溶液,形成透明层,特点是分布均匀,但是偶有脱落。脱落后可返工经酸洗后再次喷涂。

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  • ·流年之恋· 2011-06-23 00:00:00
    电弧熔制前期进行抽真空

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  • 倚剑听风花雪月 2011-06-13 00:00:00
    真空电弧烧结

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我公司生产的石英坩埚是采用国际Z先进的生产工艺电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。坩埚外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡... 我公司生产的石英坩埚是采用国际Z先进的生产工艺电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。坩埚外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。 喷涂工艺的的增加可以大幅度的改善石英坩埚的使用寿命及长晶良率。同时可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化现象,延长使用寿命。 我公司生产的石英坩埚常年供应给塞维等使用,是塞维公司常年合作伙伴。我公司生产的石英坩埚成晶率在80%—85%左右。规格有10、12、14、16、18、20、22吋。 欢迎广大客户联系: jjwking@163.com 展开
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