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通过使分光晶体和 X 射线检测器沿着罗兰圆移动来检测不同波长的 X 射线。本公司的 EPMA 采用半径为 140mm 和 100mm 的罗兰圆。 罗兰圆的半径为 140mm 的 XCE·L 形 X 射线谱仪具有分光范围广，波长分辨率和 P/B 比的特征，100mm 的 H 形 X 射线谱仪具有 X 射线强度高的特征，可以根据目的进行选择。
下面介绍各分光器的 PET, LIF, TAP 分光晶体以及 LDE1 和 LDE2 等轻元素用分光元 件。
一． 分光器模式图
二． 超轻元素用分光元件的检出元素 list
LDE1 和 LDE2 由于分光范围广式通用性高易于使用的分光元件。LDE5H 与累积膜 (STE)相比，成功地将 N 的 x 射线灵敏度提高 30 倍。另外，LDE6H 对微量 C 和微量 B 有很好的效果。
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