请高手指点光学真空镀膜中霍尔离子源的问题
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我们使用的霍尔离子源阳极电流不稳定，阳极电流不稳定导致气体通入量也不稳定，正常情况下气体通入是从Z大设定值开始，然后慢慢减小到所需要的数值，但现在是从Z小的数值开始，慢慢增大到所需要的数值，而且有时气体慢慢减小到零，气瓶内的气体压力还很多，... 我们使用的霍尔离子源阳极电流不稳定，阳极电流不稳定导致气体通入量也不稳定，正常情况下气体通入是从Z大设定值开始，然后慢慢减小到所需要的数值，但现在是从Z小的数值开始，慢慢增大到所需要的数值，而且有时气体慢慢减小到零，气瓶内的气体压力还很多，查了很多地方，还是没有解决，请高手帮忙指点一下。谢谢！ 展开
全部评论(2条)
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- xiasir1006 2011-07-20 00:00:00
- 应该不是气体流量不稳定，而是你的离子源打火导致气体量不稳定。从新清洁离子源找出打火的原因应该可以解决问题，希望对你有用！
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- 馬子豪123 2011-07-20 00:00:00
- 找厂家或者找专业工艺和维修公司。 我们是提供技术服务和支持的公司。
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- 请高手指点光学真空镀膜中霍尔离子源的问题
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