电子探针原子百分比怎么计算化合物

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  老末 2016-02-19 00:00:00

  电子探针（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能就是进行微区成分分析。它是在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展起来的一种GX率分析仪器。 其原理是：用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品元素的特征X射线，分析特征X射线的波长（或能量）可知元素种类；分析特征X射线的强度可知元素的含量。 其镜筒部分构造和SEM相同，检测部分使用X射线谱仪，用来检测X射线的特征波长（波谱仪）和特征能量（能谱仪），以此对微区进行化学成分分析。 6.1 电子探针仪的结构与工作原理 结构如图所示，可以分为三大部分：镜筒、样品室、和信号检测系统。 镜筒和样品室部分与SEM相同。信号检测系统是X射线谱仪，对微区进行化学成分分析：波长分散谱仪或波谱仪（WDS），用来测定特定波长的谱仪；能量分散谱仪或能谱仪（EDS），用来测定X 射线特征能量的谱仪 已知电子束入射样品表面产生的X射线是在样品表面下一个um量级乃至纳米量级的作用体积发出的，若该体积内含有各种元素，则可激发出各个相应元素的特征X线，沿各向发出，成为点光源。 在样品上方放置分光晶体，当入射X波长、入射角、分光晶体面间距d之间满足2dsin = 时，该波长将发生衍射，若在其衍射方向安装探测器，便可记录下来。由此，可将样品作用体积内不同波长的X射线分散并展示出来。 上述平面分光晶体使谱仪的检测效率非常低，表现在：固定波长下，特定方向入射才可衍射；处处衍射条件不同； 要解决的问题是：分光晶体表面处处满足同样的衍射条件；实现衍射束聚焦 把分光晶体作适当的弹性弯曲，并使X射线源、弯曲晶体表面和检测器窗口位于同一个园周上，就可以达到把衍射束聚焦的目的。该园称为聚焦园，半径为R。 此时，如果晶体的位置固定，整个分光晶体只收集一种波长的X射线。

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