超声波清洗机能清洗硅片吗？

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  kcf19880213 2012-08-14 00:00:00

  当然可以，而且超声是非常重要的

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  爱*车养伱 2012-08-13 00:00:00

  额，硅片现在都是用全自动超声波清洗机清洗的啊

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  射手神* 2012-08-15 00:00:00

  可以，不过据说是用1MHz的频率的清洗机。不是普通的低频100K以下频率的清洗机。

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  lhlhlh1993 2016-03-22 04:43:42

  1、硅片晶圆超声波清洗机能清洗硅片。 2、硅片晶圆生产清洗工艺中，使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元，各部分有独立控制，随意组合。 3、硅片的清洗在半导体制作过程中十分重要，而磨片的清洗是所有清洗工序中Z困难的。由于使用了硅片超声波清洗机，通过物理渗透作用，使污染颗粒脱离硅片表面，再通过超声波清洗的机械作用和化学腐蚀作用，Z终去除污染颗粒，达到了清洗硅片的目的。

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