真空镀膜机的问题
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为什么机器一开始加电流后真空度会下降一点，随后又慢慢升回去了，等加热电流加大，蒸发舟发红温度升到一定程度后，真空度就会持续下降，真空室检测无漏气点，盖板和各水循环管道无漏水处，为什么真空度再加热时会掉呢，而且是蒸发舟加热到某一程度才掉，蒸镀... 为什么机器一开始加电流后真空度会下降一点，随后又慢慢升回去了，等加热电流加大，蒸发舟发红温度升到一定程度后，真空度就会持续下降，真空室检测无漏气点，盖板和各水循环管道无漏水处，为什么真空度再加热时会掉呢，而且是蒸发舟加热到某一程度才掉，蒸镀是一开盖板瞬间也会大幅度掉真空，随即缓慢回升，盖板也打压了，无漏水的地方，蒸发坩里不加蒸镀介质也同样掉真空，实在没招了，各位谁懂的话给解决下吧…… 展开
全部评论(3条)
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- aaiuluo00374 2012-11-06 00:00:00
- 不是技术人员，不太清楚哦。
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- qingcai0507 2012-03-03 00:00:00
- 我做了真空镀膜3年了，我个人认为离子源轰击的时候，温度会增加，那么真空度肯定会回升了，如果你感觉工作效率低的话，赶不上产量的话，你可以换一个大功率的油扩散泵，这样的话，应该就OK了，或者一周清洗设备，离子源，我们一周都要进行维护的，再升！我因为刚辞职了，就只能帮你这么多了，也可以+QQ798353417
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- 艳艳说～ 2012-03-01 00:00:00
- 加热会使吸附在机器内壁和蒸发舟、工件等位置的气体放出，所以真空度会变差。持续加热一段时间，吸附气体放完，真空度自然会变好。不了解你的盖板是什么东西，挡板？是不是有点脏？
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