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fei扫描电镜的分子涡轮泵为什么会损坏

aisfhasfagh 2017-07-13 02:02:46 462  浏览
  •  

参与评论

全部评论(2条)

  • 破陵煌石 2017-07-14 00:00:00
    嗯,有点难度

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    评论

  • 萌萌·水晶 2017-07-14 00:00:00
    个人经验: 1.先检查机械泵是否能正常工作,看机械泵是否漏气或其他原因。 2.机械泵没问题,且系统真空能达到要求,再检查分子泵是否又问题。 3.机械泵和分子泵没问题,再去检查离子泵。 4.离子泵的问题可能有老化(我们的用了10年),而可能是电路或者真空板有问题。 纯属个人意见,希望对你有帮助。

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