提高反应溅射速率有那些途径？

yjdaicen514 2012-06-29 13:23:53 299 浏览

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不老不死的蓬莱 2012-06-30 00:00:00

反应溅射是指在存在反应气体的情况下，溅射靶材时，靶材会与反应气体反应形成化合物(如氮化物或氧化物)，在惰性气体溅射化合物靶材时由于化学不稳定性往往导致薄膜较靶材少一个或更多组分，此时如果加上反应气体可以补偿所缺少的组分，这种溅射也可以视为反应溅射。

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