什么是mems

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  求生活不能自理 2012-01-06 00:00:00

  MEMS中文成为微机械系统，是一种在集成电路基础上发展的学科，现在所讲的范畴更广一些并涵盖多种学科，如机械、电子、生物、化学、物理、材料等。

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  娜迪叶0904 2012-01-05 00:00:00

  Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统。 现在手机的重力感应传感器，航模的角速度传感器都是这类传感器。

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  刘胜蓉0425 2012-01-05 00:00:00

  MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

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