台阶仪的类别与基本原理

今天主要讲下，关于表面形貌的测量：

通常可分接触式与非接触式两种，在各个应用领域中，这两个方法具有互补性，并且各有不同，因此在实际应用以及选择机器的时候，一定要根据具体情况而定，建议先咨询相关的技术工程师。

本期主要说下接触式表面形貌测量仪器：台阶仪

台阶仪根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

基本工作原理如下：

当台阶仪的触针在被测的物体表面轻轻滑过时，被接触的物体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此表面轮廓的情况在一定程度上就被触针的运动情况所体现出来。

以优尼康主推的KLA台阶仪D-Series & P-series为例，简单看下：

触针传感器技术：高度分辨率低于0.1纳米

光学杠杆传感器: D-Series

电容传感器 (LVDC): P-Series

所有KLA系列台阶仪探针均由金刚石制成，具有出色的可靠性

应用：

医用支架台阶高度；药库深度
ITO薄膜台阶高度；20到200 nm台阶

太阳能电池

蚀刻工艺

LED氮化镓外延缺陷检测

太阳能板形貌

硅片减薄形貌

圆角测试

台阶仪作为一种接触式的表面形貌测量仪器,其在很多领域都有着较为广泛的应用。在使用设备的过程中也会有很多注意事项，今天上海尔迪仪器科技有限公司就带大家看看需要注意的地方：

1.取放台阶仪样品时都要贴着样品台。

2.保证被测样品表面干净没有灰尘颗粒以防弄脏针尖。

3.样品台阶不超过要求，不可太粗糟，平面度要在仪器量程内。

4.在测试和启动软件的时候，请确认台阶仪上的门是关着的。

5.在进行测试的时候请勿触摸防震桌或者奔跑等，避免引起较大噪声和震动的活动以免影响测试结果甚至损坏探针。

6.测完数据后及时拷走以防系统崩溃而丢失数据。测完后请关闭总电源

bruker是分子和材料研究以及工业和应用分析科学仪器的制造商。致力于研发高水平、高精度分析仪器。一直坚持为每项分析工作提供高精的技术解决方案。 

Bruker Dektak-XT 台阶仪是五十多年专有技术进步的TOP。它们提供可重复、可靠和准确的测量:从传统的台阶高度测量和二维粗糙度的表面表征到高级三维形貌和薄膜应力分析。bruker台阶仪已被广泛接受为薄膜厚度、应力、表面粗糙度和形貌测量的金标准，应用到从学术研究到半导体过程控制等不同领域。

Bruker Dektak 台阶仪在上海尔迪仪器科技有限公司有售，不知道怎么选型？不知道产品适配什么样的机器？上海尔迪仪器科技有限公司具有免费的售前咨询及方案制定，更多详细资料、产品咨询，可联系我司。

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

产品特点：

·操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。

·能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

·测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好

·可以作为其它形貌测量技术的比对

主要应用范围：

·大学、研究实验室和研究所
·半导体和化合物半导体
·LED：发光二极管

·太阳能
·MEMS：微机电系统
·数据存储
·汽车
·医疗设备

布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于4A。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak 技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。通过整合其行业领先产品，DektakXT实现了最高性能。

更多详细资料，可联系上海尔迪仪器科技有限公司，拨打电话021-62211270！021-62211270！

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器 。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。

产品特点：

·操作简易，从研发到质量控制都有更好的过程控制。

·能够在微电子，半导体，太阳能、超高亮度发光二极管（LED）、医学、材料科学等行业实现纳米级表面形貌测量。

·测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好

·可以作为其它形貌测量技术的比对

主要应用范围：

·大学、研究实验室和研究所
·半导体和化合物半导体
·LED：发光二极管

·太阳能
·MEMS：微机电系统
·数据存储
·汽车
·医疗设备

布鲁克DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供无与伦比的重现性，重现性低于4A。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年 Dektak 技术创新的顶峰，更加巩固了其行业领先地位。通过整合其行业领先产品，DektakXT实现了高性能。