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扩散泵开始抽高真空后真空度上升很慢

cdzxkj 2010-07-31 01:14:10 883  浏览
  • 真空室是1.5立方米,配600扩散泵,原来抽到0.05pa只要3分钟,现在需要20分钟,不是突然变成这样的,是非常缓慢的一个过程。真空度在2pa以下时再上升就非常慢了! 求教了

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全部评论(4条)

  • 茵囡 2010-08-01 00:00:00
    真空泵问题,或者漏气

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  • chenzhiwang111 2010-08-02 00:00:00
    我是从事真空泵油的,设备方面不是很清楚。但是如果油的品质不够好的话,是会出现这样的情况的,随着气温的变化是有可能出现这样的情况的。不知道你配套的是什么型号的扩散泵油了。

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  • fukren3897 2010-08-02 00:00:00
    扩散泵泵油不够,冷却水,水温过高,都会使扩散泵效率达不到..

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  • long20090501 2018-04-22 10:26:54
    首先检查真空室的密封 2,关闭所有阀门,测试泵本身抽真空能力 3 更换真空泵油 4 更换密封垫

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