扩散泵开始抽高真空后真空度上升很慢
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真空室是1.5立方米,配600扩散泵,原来抽到0.05pa只要3分钟,现在需要20分钟,不是突然变成这样的,是非常缓慢的一个过程。真空度在2pa以下时再上升就非常慢了! 求教了
全部评论(4条)
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- 茵囡 2010-08-01 00:00:00
- 真空泵问题,或者漏气
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- chenzhiwang111 2010-08-02 00:00:00
- 我是从事真空泵油的,设备方面不是很清楚。但是如果油的品质不够好的话,是会出现这样的情况的,随着气温的变化是有可能出现这样的情况的。不知道你配套的是什么型号的扩散泵油了。
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- fukren3897 2010-08-02 00:00:00
- 扩散泵泵油不够,冷却水,水温过高,都会使扩散泵效率达不到..
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- long20090501 2018-04-22 10:26:54
- 首先检查真空室的密封 2,关闭所有阀门,测试泵本身抽真空能力 3 更换真空泵油 4 更换密封垫
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