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如何用干涉仪检测平面平晶

沈利锋01 2009-07-29 21:42:53 442  浏览
  • 如何计算干涉条纹误差

参与评论

全部评论(1条)

  • ls→尛鈕 2009-07-30 00:00:00
    “计算干涉条纹误差”,你说的是用干涉条纹来计算平晶的面形误差吧? 如果要定量计算,一般Z好是用移相干涉法,可以得到每一点的相对高度,从而得到整个面的面形。如果只有一幅干涉图,就只能倾斜平晶或者参考镜使得干涉条纹变成密集的直线组,然后用傅里叶变换法求解。 如果只是定性的看一看面形好坏则比较简单了,如果条纹都是直条纹,说明面形是好的,如果条纹弯的就说明面形不好,弯的越厉害面形越差。 如果要了解详细的还是找本书看看吧,比如北理工出版社《光学测试技术》。

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