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真空镀膜时机械泵、罗茨泵、分子泵各在什么时候启动?

小糖粒儿1 2012-02-28 00:27:32 659  浏览
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参与评论

全部评论(4条)

  • 驰骋生涯 2012-03-02 00:00:00
    机械泵抽机体的时候就开 先开机械泵 V1阀 一般5分钟左右开罗茨泵 3.0*10零次方时开分子泵

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  • qq2837125958 2012-03-03 00:00:00
    你好,我做了真空镀膜3年了,我了解一点,抽气前,应用机械泵,抽到100pa时,罗茨泵启动,Z后分子泵即真空阀!我因为刚辞职了,就能帮你这么多了,不好意思!

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  • tC恺镘 2012-02-29 00:00:00
    机械泵随时都可以启动,罗茨泵根据你的要求来,Z好是一千帕到五百帕启动,也可以到一万帕,分子泵要晚点,四五帕的时候

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  • 印民谨 2012-02-29 00:00:00
    机械泵常压启动,过几分钟后可启动罗茨泵,Z后启动分子泵;一般程序上有启动和自动关闭的上下限

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