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等离子CVD法是什么

佳丽孤芳自赏 2008-08-19 06:06:15 372  浏览
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全部评论(1条)

  • gcv83 2008-08-20 00:00:00
    微波等离子CVD法在石英玻璃上生长金刚石薄膜. 在真空条件下采用氢气刻蚀二氧化硅形成硅膜,用微波等离子化学气相沉积法在玻璃上生长金刚石薄膜,并用X射线衍射、Raman光谱和光电子能谱对石英玻璃上的金刚石薄膜进行分析,指出其形成中间层SiO2/Si/SiC/C(金刚石)是在石英玻璃上生长金刚石薄膜的关键。

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