真空镀膜机精抽太慢的原因

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  918小窝 2013-10-22 00:00:00

  扩散泵温度低，扩散油少了，漏气，等

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  高金宝狮子座 2017-11-26 04:42:46

  1、扩散泵不给力了 用电离规单接到扩散泵泵口，看扩散泵单抽能达到多少，要看抽的时间和极限 2、系统有微漏 慢慢检漏吧，看看保真空时间达不达标 3、箱体太脏 太脏放气量就大了 4、前级不行 机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行，可以用电阻规单独检测前级管道。

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