扩散泵运行的Z小压强是多少？（型号为TK-300油扩散泵）
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我先用机械泵抽真空，但只抽到36帕，在这种条件下，能不能运行扩散泵啊，原因？
全部评论(1条)
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- ai79249015 2013-07-09 00:00:00
- 应该可以使用，南光的TK系列Z高排气压力是40pa。
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