请问如何用椭偏仪测量氧化硅的折射率？

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  13934911355mxl 2013-11-05 00:00:00

  我有一个关于你问题的资料，如果想要，可以站短

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  书生漫画作品 2013-11-05 00:00:00

  椭偏仪方面的paper很多，反射膜厚仪方面的几乎没有，很奇怪！

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  YangjunlLiu 2013-11-05 00:00:00

  椭偏仪可以测试多晶硅的膜厚和折射率吗？怎么测试。我们现在的一台好像只有测试SIN和SIO2的功能，哪位达人指教一下呢？

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  pisces611 2013-11-05 00:00:00

  引用:原帖由 JJ_2ic 于 2008-7-18 09:39 发表 楼主还是找一些椭偏的资料看看吧，椭偏的技术方式比较多，但总的来说，反射光的光强和位相在经薄膜反射后都会改变，我们知道，位相的改变是非常敏感的，所以椭偏能够达到反射式测量达不到的精度。但椭偏有一个问题， ...

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  hdbdmxJicnsnZn 2013-11-05 00:00:00

  我只有一本关于椭偏原理的书，关于如何测量折射率，这要看生产厂家提没提供这项功能，你用的是谁家的机台？我说一种方法吧，如果是光谱式的话，需要测量折射率的那一膜层可以用柯西色散模式建模型，这样可以将每一波长对应的折射率以及K值求出来。所以我想问下你用的是哪一家的

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