X射线能谱仪的特点
用于分析材料微区成分元素种类与含量，对扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用加以配合的仪器，称为x射线能谱仪。
X射线能谱仪的特点
能谱仪的优点
1、能谱所需探针只有较小的电流，为一种无损分析:对于如生物试样、快离子试样、玻璃等电子束照射后容易损伤的试样拥有较小的损伤。
2、为一种高灵敏超微量表面分析技术。分析仅需8-10克左右的试样就行，样品分析深度两纳米左右，jue对灵敏度高达10-18克。
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3、可以同时并且快速地对除了氢和氦以外的全部元素进行元素定性、定量分析，仅需几分钟就能够完成，能够直接对来自样品单个能级光电发射电子的能量分布进行测定并且电子能级结构的信息能够直接获得。
4、对试样与探测器的几何位置有着较低的要求，对W.D没有过于严格的要求，X射线扫描、面分布结果能够在低倍率下获得。
能谱仪的缺点
1、需要使液氮的连线供应得到保证，因为Si（Li）探测器必须保存和使用于液氮温度下。
2、不可以对Z比11小的元素进行分析，和波谱仪相比，分辨率、探测极限以及分析精度均有些差距，所以，其经常和波谱仪配合使用。
3、较低的分辨率，分辨率要低于ⅹ射线波长色散谱仪(-10电子伏)十几倍。
4、较低的峰背比（100左右），相比于ⅹ射线波长色散谱仪要低10倍,定量分析依然有一些困难存在。
应用
元素定量分折
原子的含量或相对浓度是由光电子谱线的强度(光电子蜂的面积)所反映的，此即为X射线光电子能谱定量分析的依据。因为在进行元素电子扫描时所测得的信号的强度为样品物质含量的函数,所以，按照所得电子线的强弱程度，能够将所测元素的含量半定量或定量地得出。由于不仅样品中元素的浓度对信号强弱有所影响，而且电子的平均自由行程和样品材料对激发ⅹ射线的吸收系数同样会对信号强弱产生影响。在实际的分析中，采用与标准样品相比较的方法来定量分析元素。1%-2%为其分析精度。
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