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俄歇电子能谱,英文名Auger electron spectroscopy,AES是它的简称,是一种材料科学与表面科学的分析技术。俄歇电子能谱之所以如此命名是因为该技术主要通过俄歇效应进行分析。其他外层电子吸收受激发的原子的外层电子跳到低能阶所放出的能量从而使其从原子逃脱离开,这一连串事件叫做俄歇效应,俄歇电子则为逃脱出来的电子。
俄歇电流
由纯净固体表面所测到的电流差不多为10-5Ip,入射电子束流由Ip来表示,就原则而言,能够通过对电离截面进行估计来对俄歇电流加以计算,然而因为多种因子对其产生影响,计算也相当不简单,并且和实验也不能够较好的相符合。在实际的测量过程中,EP/EW比例必须选用合适的,从而使得俄歇电流达到zui大。zui初被电离的内层能级的能量由EW来进行表示。入射电子的能量由EP来进行表示。如果EP不小于EW,那么人射电子和原子相互作用的时间不够,对于俄歇产额的提高也没有好处,可以获得的zui大俄歇电子产额的EP/EW比例差不多为2-6,如果EP比EW小,那么电离W能级的条件达不到,俄歇电子产额=0。使用小角度入射掠射时,能够对有效的 “ 检测体积 ”进行增加,电离更多的表面原子,从而使得俄歇产额增加。通常而言,zui佳的入射角为10-30度。
俄歇跃迁
对于自由原子而言,在一些不连续的"轨道 ”上有一些围绕原子核运转的电子,K、L、M、N 等电子壳层又由这一些不连续的"轨道所构成。某一轨道上电子能量的大小常常被我们用“ 能级 ”的概念来表示。因为激发了入射电子,电离了内层电子,使一个空穴被留下。原子在此时处于激发态,稳定性不足。在内层能级的空位中降落了一个较高能级上的电子,同时将多余的能量放出。 这些能量能够被当作光子发射特征射线,也能够转移给第三个电子并使之发射出来。此即是俄歇电子。俄歇跃迁一般使用射线能级来进行标志。zui初K能级使用KL1L2俄歇电子来表示,往K能级空位填入L1能级的电子,L2能级上的一个电子接收了多余的能量,并且发射了出来。
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