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Filmetrics F3-sX 白光干涉膜厚测量仪

本文由 优尼康科技有限公司 整理汇编

2025-06-19 16:48 572阅读次数

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Filmetrics F3-sX 白光干涉膜厚测量仪利用光谱反射原理,可以测量厚度达到3毫米的众多半导体及介电层薄膜。相对于较薄的膜层,这种厚膜的表面较粗糙且不均匀,F3-sX系列膜厚仪配置10微米的

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