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超薄Au-Pb-Ni镀层层厚分析

本文由 上海科学仪器有限公司 整理汇编

2018-08-15 10:57 454阅读次数

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在微电子行业,增加集成度以为真进一步微型化电子部件的大小和结构。这取决于这些结构功能镀层的物理尺寸和层厚。因此,质量保证过程中,对这些部件进行层厚分析日益重要,挑战性越来越大,引线框架超薄Au-Pb-Ni镀层结构就是很好的例子,Au与Pb厚度规范普遍在纳米范围,现在,典型的结构大小(宽度)小于100μm。XRF确定单层与多层镀层系统厚度具有快速、极ng确以及“无损”特点,符合ISO3497、ASTMB568以及DIN50987试验方法。

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