双毛细管色谱仪的技术参数介绍

本文由 白山市玖久仪器仪表有限公司 整理汇编

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• 双毛细管色谱仪的技术参数介绍

  双毛细管色谱仪的技术参数介绍白山市玖久仪器带您共同来了解双毛细管色谱仪的技术指标，为您在运用SP31-GC-9860N双毛细管色谱仪这款仪器上有更多的帮助。1检测器技术指标：检测器敏感度/灵敏度噪音漂移线性特点FIDMf≤1×10-11g/s（苯）≤0.02mV≤0.15mV/h≥107圆形收集极，刚玉瓷喷嘴TCDS≥3000mV.ml/mg（苯）≤0.02mV≤0.15mV/h≥105进口铼钨丝、恒流供电ECDM≤1×10-13g/ml（r-666）≤0.02mV≤0.15mV/h≥104耐高温Ni63放射源FPDMp≤2×10-11g/sec（1605）Ms≤5×10-11g/sec（噻吩）≤0.02mV≤0.15mV/h≥103单火焰设计、适用于残留分析NPDMf≤5×10-12g/s（偶氮苯）Mf≤5×10-12g/s（）≤0.02mV≤0.15mV/h≥103进口铷珠、适用于残留分析注：外型尺寸:660*460*465mm整机重量：60kg输入电源：AC220V±10%50HZ2KW、仪器采用了全微机自动控制系统,可调式液晶显示屏，显示内容丰富直观；中文键盘式操作，设定参数及操作非常方便。2、双毛细管色谱仪采用全新双CPU设计、原装日本高集成的电子电路技术,优良的可靠性及抗干扰能力,控温的精度达到0.1℃，显示精度更高达0.01℃，并且可同时显示各加热部位的功率耗用百分比。3、同时配备二个独立毛细管专用系统，汽化室的设计借鉴了国外同类型产品的小型化设计，升温速度快、无进样死角,具有优良的毛细管分流/不分流进样器及尾吹系统，可方便地安装小口径毛细柱、大口径毛细柱和各种填充柱。4、该机可配单FID放大器或双FID放大器，真正实现了一机多用。5、双毛细管色谱仪具有五阶线性程序升温功能,满足于多组分的样品分析。6、柱室具有变频智能化后开门自动降温系统，降温速度非常快，（从280℃降到50℃只需要5分钟）实现了真正意义上的近室温操作。7、具有六路独立的控温系统.适用于加装转化炉等多路控温需求;柱室、气化室、氢焰检测室、热导检测室均采用了模块化设计,安装更换更为方便。8、具有掉电保护功能，可自动记忆设定参数。具有抗电源突变干扰功能和秒表计时功能。9、具有超温保护功能，温度超过所设上限自动断电并报警。任一路温度超过设定温度，均会自动停止加热；并有提示故障原因及报警提示.双毛细管色谱仪的技术指标在这里就全部为您讲解清楚了，如有不明白的欢迎随时致电白山市玖久仪器仪表有限公司。[详细]

  2018-10-07 10:03

  产品样册

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• 双毛细管色谱仪的12项技术优势

  双毛细管色谱仪的12项技术优势SP31-GC-9860N双毛细管进样系统,真正实现了一台仪器相当于两台!1、仪器采用了全微机自动控制系统,可调式液晶显示屏，显示内容丰富直观；中文键盘式操作，设定参数及操作非常方便。2、双毛细管色谱仪采用全新双CPU设计、原装日本高集成的电子电路技术,优良的可靠性及抗干扰能力,控温的精度达到0.1℃，显示精度更高达0.01℃，并且可同时显示各加热部位的功率耗用百分比。3、同时配备二个独立毛细管专用系统，汽化室的设计借鉴了国外同类型产品的小型化设计，升温速度快、无进样死角,具有优良的毛细管分流/不分流进样器及尾吹系统，可方便地安装小口径毛细柱、大口径毛细柱和各种填充柱。4、该机可配单FID放大器或双FID放大器，真正实现了一机多用。5、双毛细管色谱仪具有五阶线性程序升温功能,满足于多组分的样品分析。6、柱室具有变频智能化后开门自动降温系统，降温速度非常快，（从280℃降到50℃只需要5分钟）实现了真正意义上的近室温操作。7、具有六路独立的控温系统.适用于加装转化炉等多路控温需求;柱室、气化室、氢焰检测室、热导检测室均采用了模块化设计,安装更换更为方便。8、具有掉电保护功能，可自动记忆设定参数。具有抗电源突变干扰功能和秒表计时功能。9、具有超温保护功能，温度超过所设上限自动断电并报警。任一路温度超过设定温度，均会自动停止加热；并有提示故障原因及报警提示.10、双毛细管色谱仪具有“0℃”保护功能。当任一路温度显示始终为“0℃”时，均会自动停止加热，以防该室始终加热导致加热体损坏.并有提示故障原因氨崾荆?nbsp;11、同类产品中首chuang断气保护功能，可Zda限度地保护毛细管色谱柱不受损害。12、具有宽范围的故障自我诊断功能，36种自诊断信息，随时显示故障原因及处理方法。温控指标：1）柱箱：室温+5℃--400℃控温精度:0.1℃显示精度更高达:0.01℃2）柱温箱体积：248*248*260MM3）程序升温阶数：五阶线性程升4）程序升温速率：0.1℃~40℃（0.1℃增量）5）各阶恒温保持时间：0~9999.9min（0.1min增量）[详细]

  2018-10-07 10:01

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• 上海通微加压毛细管电色谱仪

  上海通微加压毛细管电色谱仪[详细]

  2024-09-28 01:15

  选购指南

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• TriSep®-3000加压毛细管电色谱仪产品样册

  TriSep®-3000加压毛细管电色谱仪产品样册[详细]

  2024-09-21 18:08

  操作手册

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• 快速双单元控制电位电解仪技术参数介绍

  快速双单元控制电位电解仪技术参数介绍DW99-KDS-1快速双单元控制电位电解仪是采用控制阴极电位的原理，对铜及铜合金中的铜、银及部分银合金中的银进行定量分析和彼此分离。1．仪器整机分为两个单元，可单独分析一个样品亦可同时分析两个样品2．分析速度快，一次分析时间不大于60min（残留量分?1．仪器整机分为两个单元，可单独分析一个样品亦可同时分析两个样品2．分析速度快，一次分析时间不大于60min（残留量分析时间除外），较常规分析提高了4-20倍3．电位控制精度高，正负极向，电压大小均一次显示，方便清晰1．输出电压：≤10V2．快速双单元控制电位电解仪输出电流：≤10A3．输入阻抗：≥50kΩ4．电位控制精度：±3mV5．电位控制范围：±1999mV[详细]

  2018-10-07 10:02

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• JJ-声级计的技术参数介绍

  JJ-声级计的技术参数介绍声级计又叫噪声计，是一种用于测量声音的声压级或声级的仪器，是声学测量中Z基本而又Z常用的仪器，随着国民经济的发展和人们物质文化生活水平的提高，噪声普查和环境保护工作全面开展，机器制造行业已把噪声作为产品的重要质量指标之一，礼堂和体育馆等建筑物不仅仅要求造型美观，也追求音响效果，这些都使得声级计的应用越来越广泛。现在它不仅应用在声学和电声学测量中，而且已经广泛应用于机器制造、建筑设计、交通运输、环境保护、YL卫生以及国防工程等各个领域，成为几乎所有部门都必须具备的声学测量仪器。JJ-声级计/噪音计是玖久仪器公司推出的新一代产品，该产品体积小，携带方便，是款经济实用的设备。该仪器的技术参数如下：分辨率0.1dBZda读值锁定功能输出可外接记录器适用标准IEC651Type2测量范围ALO(Low)-加权:35-100dBAHI(High)-加权:65-130dBCLO(Low)-加权:35-100dBCHI(High)-加权:65-130dB分辨率0.1dB频率范围31.5Hzto8KHz准确度±2dB重作范围65dB权衡网络频率A、C时间向应慢&快Zda值锁定Decay<1dB/3min麦克风极化电容式麦克风校正内部94.0dB位置校正输出AC约0.65Vrms(每范围档),输出阻抗:600ΩDC约10mV/dB(nominally),输出阻抗:100Ω操作温湿度0℃to40℃<80%R.H.储存温湿度-10℃to60℃<70%R.H.显示器31/2位数字显示电源1节9V电池尺寸240mm(L)x68mm(W)x25mm(H)重量215g附件皮套,测试棒,电池,使用说明书,防风球[详细]

  2018-10-07 10:02

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• GJ03-GF01激光粒度仪的技术参数介绍

  GJ03-GF01激光粒度仪的技术参数介绍激光粒度仪干法：激光粒度仪测试范围：0.1μm-1000μm进样方式：空气连续喷射重复性误差：≤3%（标样D50偏差）准确性误差：≤3%（标样D50偏差）激光粒度仪测量原理：米氏散射理论激光光源：进口半导体激光器软件运行环境：WinXP/Win7接口方式：RS232或USB方式激光粒度仪光电探测器：形状：扇形；数量80个（前向72个，侧向8个）激光粒度仪分散介质：压缩空气或惰性气体压力：0.1-0.8Mpa连续可调气体流量：400-6000L/min样品用量：5g-20g[详细]

  2018-10-07 10:03

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• IRT-2000双色红外测温仪技术参数

  IRT-2000双色红外测温仪技术参数一、IRT-2000双色红外测温仪特点：该系列双色红外测温仪具有目视光学瞄准系统,在红外测温技术上摆脱了对红外测量的依赖,使仪器的测量精度高、重复性好，与单色测温仪相比，在以下条件下可进行有效的、准确的测量：（1）到目标的测量视场被部分遮挡，比如仪器与目标之间有灰尘、烟雾、水汽等；（2）被测目标小于测温仪测量视场，比如在冶金行业测量线材或棒材的温度；（3）当目标发射率低，且在两个波长上的变化相同。用途：针对辐射率无法确定的高温物体的温度测量；冶金行业的炼焦炉，热风炉、铸造、焊接、锻造、感应加热、烧结、退火等温度检测控制。需非接触和快速测温的场合，如测量小尺寸、移动的高温物体的温度。二、IRT-2000双色红外测温仪主要技术参数型号IRT-2000B名称便携式双色红外测温仪测温范围800℃-2000℃（分段）距离体系150:1工作波段0.8μm～1.1μm测量精度0.5%分辨率1℃瞄准方式同轴光学瞄准数据显示7段LED显示模拟输出接口4-20mA数字输出接口RS-485接口测量模式单色或双色物体发射率对辐射测温的影响：自然界中存在的实际物体，几乎都不是黑体。所有实际物体的辐射量除依赖于辐射波长及物体的温度之外，还与构成物体的材料种类、制备方法、热过程以及表面状态和环境条件等因素有关。因此，为使黑体辐射定律适用于所有实际物体，必须引入一个与材料性质及表面状态有关的比例系数，即发射率。该系数表示实际物体的热辐射与黑体辐射的接近程度，其值在零和小于1的数值之间。根据辐射定律，只要知道了材料的发射率，就知道了任何物体的红外辐射特性。非接触红外测温仪和传统的接触类测温仪有何不同非接触红外测温仪接触类测温仪1.非接触测温对物体无影响1．接触测温对被测物温度场有影响2.检测物体表面温度2．不适合测瞬态温度3.反应速度快，可测运动中的物体和瞬态温度3．不便于测运动中的物体4.测量范围宽4．测量范围不够宽，且耗材5.测量精度高，分辨率小5．不适合测量有毒、高压等危险场合6.可对小面积测温使用7.可同时对点，线，面测温　　8.可测温度，也可测相对温度　　红外线测温仪/红外线测温仪OT8861，OT8863，OT8865，OT8862，OT810，OT811，SUMMIT-350，BK8111，BK8110，BK7110A，SIR-100B，VA6520，VA6530F62，F68，F63，F59，F-561，F-66，F-566，F-568，CENTER350，CENTER352，CENTER358，AZ8866，AZ8868，AZ8870，AZ8871，AZ8872，AZ8877，AZ8878，AZ8879，AZ8886，AZ8889，AZ8890，AZ8895，AZ9811，OT880H，OT882H，OT883H，VC305，VICTOR306，VICTOR307，VICTOR308，VICTOR310，VICTORT60，AZ-8888，AR-300，AR-350，AR-842A，AR-852B，AR-862A，AR-872O，AR-872，AR-872A，AR-882，AR-882A，AR-892，AR-922，MT-4，ST-20，ST-60，ST-80，TN-18，TN-20，TN-30，TN-80，TN-425，TN-435，TM631，TM656，TM660，TM630，TM672，TM643，TES-1326S，TES-1327，TES-1327K，OT8867H，OT8868H，OT8869H，OT8858，OT8859，OT8829，OT8838，OT8839，OT8856H，OT8857H，OT8830，OT8833，OT8835，OT8831，OT8832，OT8855，TN-688，TN-677，TN-675，TN-350B，SIR-50B，SIR-10B，TM330，TM300尊敬的客户：感谢您关注我们的产品，本公司除了有此产品介绍以外，还有红外线测温仪，变频串联谐振试验装置，大电流发生器，真空滤油机厂家，耐电压测试仪，无线高压核相仪等等的介绍，您如果对我们的产品有兴趣，欢迎来电咨询。谢谢![详细]

  2018-11-07 14:17

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• 全自动双通道大气采样仪的技术参数介绍

  全自动双通道大气采样仪的技术参数介绍SZ71-GDYK-20全自动双通道大气采样仪是我公司推出的具有大屏幕液晶中文显示，内置流量、温度、压力传感器，实时显示采样时间、采样流速、采样量、环境压力和温度，具有测量、设置、记录、等处理功能。仪器技术参数*全自动双通道大气采样仪主机1台*内置德国薄膜泵2台*内置流量传感器2套*内置温度、压力传感器1套*人机交互式操作*单片机智能控制,*流量范围：0.1-1.0L/min*流量重复性：≤2%*流量示值误差：±5%*流量稳定性：5%（0.5L/min）*全自动双通道大气采样仪计时误差：±0.2%[详细]

  2018-10-07 10:02

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• 便携式烟气烟尘分析仪的技术参数介绍

  便携式烟气烟尘分析仪的技术参数介绍便携式烟气烟尘分析仪参数范围分辨率示值误差采样流量5.0~60.0L/min0.1L/min≤±2.5%流量控制稳定性<±2%（电压在180V~250V变化，阻力在3~6kPa内变化）烟气动压0~2000Pa1Pa≤±2%烟气静压-30.00~+30.00kPa0.01kPa≤±4%流量计前压力-30.00~0.00kPa0.01kPa≤±2.5%流量计前温度-30~150.0℃0.1℃≤±2℃烟气温度0~600℃（可扩展）1℃≤±3℃烟气流速0.2~30m/s0.1m/s≤±5%空气过剩系数0~99.990.01≤±2.5%重复性：≤2%；响应时间：≤90s；稳定性：1小时内示值变化≤5%。SO2（选配）0~5700mg/m3Zda过载14000mg/m31mg/m3便携式烟气烟尘分析仪采样泵负载能力≥30L/min（阻力为-20kPa时）数据存储能力1000组Zda采样体积999999.9L0.1L≤±2.5%外型尺寸330×160×200mm整机重量约10.0kg功耗<100W多功能烟尘取样管（1.5m）每加1米加1500元便携式烟气烟尘分析仪以上参数均为可选配件参数。根据客户选额配件不同，价格不同。[详细]

  2018-10-07 10:03

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• HD51-1001在线水质监测仪的技术参数介绍

  HD51-1001在线水质监测仪的技术参数介绍测量方法：重铬酸钾高温消解，比色测定（国家标准GB11914-89）测试量程：0-1000mg/L（可根据要求扩展）检测下线：15mg/L分辨率：<1mg/L准确度：示值误差不超过10%重复性：相对标准偏差不超过5%零点漂移：≤±5%/24h量程漂移：≤±10%/24h消解温度：165摄氏度，可设定试剂消耗：企业可自配，提供试剂配方样品流速：Z小为0.1L/h用户保养：保养间隔>1个月，每月约1小时；维护简单方便环境影响：水质极端情况（如高悬浮物、杂质、漂浮物）下不会损坏通信接口：RS232数字接口,4～20mA模拟信号输出外型尺寸高1400×宽560×深450mm重量40千克电源AC（220±10%）V，（50±10%）Hz，功率80瓦环境温度5～40摄氏度环境湿度≤90%（不结露）大气压力86千帕～106千帕采样排口距离L≤15m，落差H≤6m[详细]

  2018-10-07 10:03

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• 室内五大污染物及室内环境检测色谱仪的优势介绍

  室内五大污染物及室内环境检测色谱仪的优势介绍[详细]

  2015-08-14 00:00

  期刊论文

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• 便携式涡流导电仪技术参数介绍

  便携式涡流导电仪技术参数介绍BT17-FD-101采用60KHz航空标准频率,检测界面同时显示两种单位（%IACS与MS/m）的电导率；超大测试范围,满足所有有色金属的导电率测试；良好的温度补偿与提离补偿,使检测数据不再受温度和人为误差的影响；智能校正、简明的操作以及良好的稳定性赢得广大使用者的青睐广泛应用于铜,铝,钛等有色金属板,棒,带等型材,加工工业中的电导率测试；监控有色金属热处理过程,锻铝合金的强度和硬度；铝阳极氧化之前电导率检验,检验材料纯度等级和废料分选等。◆显示分辨率0.1%IACS（MS/M）◆智能校对，减少手动校对误差◆探头提离补偿0.15MM◆中文界面，同时显示检测%IACS、MS/m数据◆所有的读数值自动补偿到常温（20℃）值◆测试范围:0.5%IACS-110%IACS（0.29MS/m-64MS/m）◆检测原理：涡流◆工作频率（赫兹）：60K正弦波◆显示：液晶，黑白（有背光照明）◆尺寸（毫米）：180×76×30（长×宽×厚）◆外壳：防水淋，聚脂外壳◆重量（克）：小于300克◆工作电源：高容量高性能的锂聚合物电池◆工作状态：省电模式（5分钟无任何操作时，系统自动关机）◆测试范围：0.5%IACS110%IACS（0.29-64ms/m）◆提离效应探头补偿：0.060”（0.15mm）◆误差：±1%IACS◆测量补偿范围：5℃40℃有自动补偿功能◆正常工作环境：相对湿度095%◆工作温度：5℃40℃◆语言：中文◆探头直径：Φ14MM（可自行更换）[详细]

  2018-10-07 10:01

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• SZ71-GDYK-206S甲醛测定仪技术参数介绍

  SZ71-GDYK-206S甲醛测定仪技术参数介绍甲醛测定仪采用国家标准方法酚试剂比色法（GB/T18204.26-2000），定量采样和测定空气中甲醛的含量，采样仪和测定仪合二为一可快速检测数据。适用于家具、地板、壁纸、涂料、园艺、室内装饰与整修、染料、造纸、制药、YL、防腐、消毒、化肥、树脂、粘合剂和农药、原料、样品、工艺过程及生产车间和生活场所中甲醛的现场定量测定。*测定下限：0.01mg/m3*测定范围：0.00-3.50mg/m3*甲醛测定仪测量精度：5%*主机1台*样品前处理器具1套*试剂50次[详细]

  2018-10-07 10:01

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• 便携式氨气检测仪技术参数介绍

  便携式氨气检测仪技术参数介绍检测气体：空气中的氨气（NH3）量程：0-100ppm基本误差：＜±5%（F.S）Z小读数：1ppm响应时间：≤50秒传感器寿命：24个月传感器类型：电化学电池：3.6V锂离子充电电池电池工作时间：连续工作大概200小时左右显示：大屏幕液晶显示报警：声、光报警直接读数：瞬时值、峰值、电池电压、Z小值防爆标志：ExibdIICT3防护等级：IP45工作温度：-10∽45℃工作湿度：5-90%RH尺寸：126mm（长）×66mm（宽）×33mm（厚）重量：220g（带充电器）[详细]

  2018-10-07 10:02

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• QF09-6B-200COD检测仪技术参数介绍

  QF09-6B-200COD检测仪技术参数介绍QF09-6B-200COD速测仪可广泛应用于大专院校、科研院所、污水处理厂、环保监测站、石化、造纸、制药、印染、纺织、皮革、酿酒、乳业、电子、市政工程等行业，中文操作界面，大屏幕指引菜单直接显示COD指标，内存多条标准曲线可人为设定、保存和修改是相关检测部门的理想帮手。COD速测仪【标准配置】智能消解器、冷却槽架、专用固体试剂、专用反应管数支、比色皿架、半自动加液器等。COD速测仪【技术参数】控温范围：室温~200℃测量误差：≤±5%波长范围：610±1（nm）存储数据：2000个曲线数量：自带100条以上标准曲线测定范围：COD5～6000mg/L（选择不同曲线）批处理样：9/12/16/20/25/30（依据用户要求配置）抗氯干扰：{Cl－}＜1200mg/L；{Cl－}＜12000mg/L产品尺寸：330*260*120mm[详细]

  2018-10-07 10:02

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• GJ03-S02激光粒度仪技术参数介绍

  GJ03-S02激光粒度仪技术参数介绍一、激光粒度分布仪是一款新型的激光粒度分布仪，GJ03-S02激光粒度仪/激光粒度分布仪的测试下线可以达到40纳米，主向光电接收器共71个光电池Zda探测角达21.5°；非均匀交叉排列的侧向及后向光电接收器,共9个光电池，Zda角度135°。优异的反傅立叶光学变换设计,结合独特的光路一体化结构，使光路更加稳定；长期使用无须调整，先进的机械设计与加工工艺，使仪器的结构更紧凑合理，流线型的设计，美观大方，使用与维护更为方便；GJ03-S02激光粒度仪/激光粒度分布仪有效的屏蔽与抗干扰技术，使仪器的电气等性能更加稳定，结果更准确，重复性更好。二、激光粒度分布仪技术参数测试范围：0.04μm～500μm光源：半导体激光器（波长635nm.功率3mw.使用寿命25000小时以上）进样方式：湿法测试样品浓度：0.5‰～1%（与样品有比重、颗粒大小、折射率有关）测试时间：少于1分钟/次，不含样品分散时间扫描速度：2000次/秒重复性误差：1%电源：交流220V±10%50Hz或60Hz，功率：80W微机接口：需计算机配合使用,标准RS-232串行接口操作系统：可在Windows所有版本的操作系统下运行[详细]

  2018-10-07 10:03

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• 湘润介绍MAXUM II过程色谱仪解决方案

  ProcessAnalyticsAnswersforindustry.MAXUMII过程色谱仪在多晶硅生产中的应用多晶硅生产的在线监测迅速发展的光伏发电技术由于太阳能安全可靠、成本低、无污染，所以其需求正不断上升；而且因为电能成本不断增加，与传统能源相比，太阳能的成本更具有竞争力。太阳能取之不尽，用之不竭，将主宰未来的整个能源结构。利用太阳能电池将太阳能直接转换为电能的技术称为光伏发电技术（PV）。多块电池串联在一起，并封装在玻璃板（图3）内形成一个模块电池。由于全世界对太阳能的需求不断上升，近几年也逐步扩大了太阳能电池和光伏组件的生产。自从1954年**个太阳能电池问世以来，正以平均每年40%的速度增长。全世界太阳能电池的生产主要集中在美国（50%）、日本（24%）和德国（18%），但是近年来其它国家已经计划或者正在新建很多工厂。太阳级多晶硅光伏电池的原材料是硅（Si），过去主要来源于硅的次品和废品，是在多晶硅的提纯或者在铸锭和晶片制造过程中生产出来的；但是所谓的“太阳级”硅的需求有别于半导体用硅的需求。一方面，太阳级多晶硅的纯度没有必要达到半导体级那么高；但是因为产能巨大必须保证质量稳定。因此，需要进行过程分析，主要是过程气相色谱仪，以监控生产过程，确保纯度要求，并优化多晶硅生产，提高产品质量和产品产量。西门子是享誉世界的过程分析仪和解决方案提供商。在多晶硅领域拥有丰富的经验，可对工艺过程控制和优化提供**的解决方案。ShangHaiXiangRunINDUSTRYCO.,LTDTEL:+86-21-5837191158371993Fax:+86-21-58376375Http://www.plcsh.cn半导体级硅地壳中硅元素含量占第二位，并以氧化物（沙子和石英）或者硅酸盐（花岗岩，粘土，云母）的形式存在。用于半导体物质时，硅必须是高纯的。对于太阳能电池，硅必须达到99.9999的纯度（俗称“6个9或者6N的纯度）。用于电子行业时要更纯，通常是9N到11N。要达到半导体用硅，无论是太阳能电池还是集成电路，都必须要经过处理。冶金级硅（MG-Si）将从硅矿中获取的石英和煤、焦煤、木屑或者木炭放在炉中及硅粉。将液态硅从炉中倒出来，再进一步提纯，制取到的物质就是冶金级硅（MG-Si）。多晶硅众所周知，多晶硅的制作工艺有很多种。半导体行业和光伏产业使用的大多数多晶硅是通过化学气相沉积制成的。在这个工艺中，在1100C时分解三氯氢硅（TCS，HSiCl3），会在加热棒上结晶生成高纯硅。要获得三氯氢硅，要用H2和Cl2制成HCL，然后HCL和MG-Si反应形成液体，暂时存储后，再将液体蒸馏提纯，放入存储罐中。然后气化TCS和氢气混合，放到SiemensReactor（西门子反应器，西门子Z早研发）中，在高温下发生化学气相沉积生成多晶硅。TCS具有很多优点，例如，沉积率高，挥发性强，从而更易于除掉硼磷等杂质。使用TCS的其中一个缺点是需要大量电才能保持高的工艺温度。图1：多晶硅生产流程图（图中圆点为分析仪采样点）采样点/采样流路测量目的测量组分量程西门子分析仪1H2补充气H2的纯度H2O,0...100ppmTPA质量控制O2,N2,CO,CO2,HC0...50ppmMAXUMII2Cl2供应Cl2的纯度H2O,0...2%TPA质量控制N2,O2,H20...5%MAXUMII3HClHCl的纯度H2O,0...100ppmTPA质量控制O2,N2,CO,CO2,HC0...10ppmMAXUMII4粗TCS反应器出口过程控制HSiCl3,SiCl40...1**%MAXUMIIH2SiCl2,HCl0...1%5TCS蒸馏塔出口过程控制HSiCl30...1**%MAXUMIIH2SiCl2,SiCl4,N20...30%6还原炉进料过程控制HSiCl3,SiCl40...1**%MAXUMIIH2SiCl2,HCl,H20...30%7还原炉出口过程控制HSiCl3,SiCl40...1**%MAXUMIIH2SiCl2,HCl,H20...30%8转化炉出口过程控制HSiCl3,SiCl40...1**%MAXUMIIH2SiCl2,HCl,H20...30%9尾气回收装置出口H2的纯度HSiCl3,SiCl4,HC0...50ppmMAXUMII质量控制H2SiCl2,N2,O2多晶硅的生产Z后硅以硅块（图2）的形式从加热棒中除去。副产品可以在尾气回收装置和转化炉中重复利用，例如，从还原炉出来的副产品SiCl4和H2可以转化为HSiCl3和HCl。第二种工艺是硅烷热分解法，即进一步提炼TCS，生成气化的硅烷（SiH4），然后硅烷气沉积在热的硅棒上。硅烷是纯度更高的原料，所以可以用于制造更纯的多晶硅。分析任务分析任务包括原料气的纯度监控和副产品的组分测量。其它测量提供了过程控制的数据。图1显示了常用的取样点，表1是更为详细的解释。虽然离线的实验室分析仪也用于这个应用，但是西门子的在线解决方案更成功，分析速度更快，分析结果更可靠。TCS，非常有害的物质多晶硅生产中的主要组分非常有害，需要特殊的样品预处理系统和特殊的分析仪配置。三氯氢硅（TCS）是具有刺激性恶臭的无色透明液体，沸点是32C；在空气中的可燃性浓度范围是1.2%到90.6%。三氯氢硅的腐蚀性很强，和金属反应会生成H2，遇到水和潮湿空气会生成腐蚀性的有毒HCl以及固态SiO2（会堵塞和损坏分析仪的硬件）。TCS对眼睛、皮肤以及呼吸系统都有害。挑战先进的分析技术多晶硅复杂的生产工艺、极高的产品质量要求以及难以操控的TCS（见下文）需要非常先进的分析技术，才能可靠地控制安全准确的操作过程以及产品质量。西门子是**一家可以用过程分析仪器分析并在这一应用具有悠久历史的公司。图2：多晶硅（块）图3：太阳能电池板图4：无阀柱切模块在线过程分析通常而言，离线的实验室气相色谱仪用于这个应用，需要将样品取到实验室，不可避免造成样品与空气接触受到污染，而且由于较长的取样间隔导致分析结果的滞后。西门子过程分析仪器具有长期可靠的氯硅烷应用的经验，而且设计了一套解决方案，这套解决方案以过程气相色谱仪为基础，使用了MAXUMII在线色谱仪和特定的样品预处理系统。连续采样连续分析，整个采样分析过程在密闭的系统中完成，这样就不需要断开和连上取样钢瓶，样品不会在大气中暴露，即避免了污染风险，又大大增加了采样频率。西门子已经安装了超过100套这种针对在线氯硅烷分析仪系统。专业的分析方法和特殊的MAXUMII配置MAXUMIIPGC由于模块化设计以及分析配置方面具有很高的灵活性而著称。要在多晶硅工艺中实现不同的测量任务，就要使用MAXUMII的不同功能：空气浴柱箱，带防腐蚀吹扫恒温柱箱或者程序升温根据反应和性能特别选择的分离色谱柱类型对载气进行的特殊的机械式和化学式干燥对吹扫气进行的干燥使用特殊的进样和柱切技术（无阀切换，参见下文）使用不同类型的检测器使用抗腐蚀性物质和特殊的密封组件特殊的样品预处理装置基于丰富的安装经验，样品预处理系统考虑了以下因素：高度防泄漏设计所有接触样品的部件（例如，管道、阀、压力调节器和流量计）的材料都是抗腐蚀性物质使用特殊的密封组件和装配技术专门针对维护和更换标气瓶等附加的管道吹扫步骤的设计额外用干燥的吹扫气吹扫机箱和分析小屋硬件表面防腐蚀无阀切换对于使用高分辨率的毛细管柱的色谱仪来说，MAXUMII同时提供了无阀柱切，从而为少量的样品提供了高性能的柱切和长期稳定性及可靠性。无阀柱切可以进行反吹、ZX切割，或者分配到两个不同的色谱柱中，而不需要任何切换阀，或者没有和样品直接接触的运动部件。无阀切换是由压差（压差由极ng准的电子压力控制器控制）通过一个独特的模块（图4）实现的。由于无阀柱切具有零死体积的特征，所以非常适用于带毛细管柱的低流速系统。这就降低了柱切装置的维护频率，提高了分离能力并简化了复杂的分离过程。反吹技术的分析时间非常短，特别是和实验室GC操作相比。痕量分析对痕量杂质的分析非常重要，可以确保太阳级多晶硅（99.99%或者99.999%）的质量，特别是硼和磷这种非常重要的杂质。通常ppb级别的痕量组分，例如甲基二氯硅烷（MeHSiCl2）不能使用传统的检测器如TCD和FID来分析。西门子的解决方案是用脉冲放电氦离子检测器（PDHID，VICI提供，用在MAXUMII）来检测，这个检测器可以检测有机和无机组分。在相应的分离条件下，PDHID的灵敏度比FID或者TCD好至少1个数量级。西门子解决方案交钥匙的测量解决方案这个解决方案是在多年硅烷分析经验的基础上提出的。从样品提取、样品预处理到分析仪和安装结构，所有部分都是一个紧密联系的测量系统。连续测量不同于实验室的间断采样分析，没有人为因素影响，可长时间保持分析数据的重复性和稳定性。准确、快速、可靠的测量经过全世界无数安装实例验证的特殊的样品预处理系统所有接触样品的部件的材料都是非腐蚀性物质无阀柱切和高灵敏度的检测器，所以分析性能很高（图6）直接的过程控制能力通过闭环控制实现过程优化通过流路切换和自动标定，实现样品预处理装置的自动控制现场安装MAXUMII经过认证，可以用于危险区（ATEX，CSA，NEC，NEPSI）MAXUMII适用于室温-18C~+50C。不需要带门的分析小屋，机柜就足够。MAXUMII安装在靠近取样点的位置：缩短了管道长度，所以降低了安装成本；快速回路短，所以分析很快。先进的控制和通讯能力直接与DCS连接整合到通讯网络中（Modbus，以太网TCP/IP）远程访问和维护通过集线器和网关易于与其它分析仪组网与SIMATICScalance组件兼容客户利益通过使用过程分析仪，可以降低成本，增加产出使用在线测量的数据可以进行过程控制和优化有效提高开工水平，确保产品质量稳定实时监控工艺过程，确保安全生产图5：色谱仪图6：典型的谱图客户利益ShangHaiXiangRunINDUSTRYCO.,LTDTEL:+86-21-5837191158371993Fax:+86-21-58376375Http://www.plcsh.cn声明本手册中的信息含有不适用于实际应用或者由于产品进一步开发而更改的性能描述或者特征。只有协议条款明确同意才有义务提供相应的特征。可用性和技术规格如有更改，恕不事先通知。所有产品的名称可能都是西门子AG或者供应商的注册商标或者产品名称。第三方出于个人目的可能使用本说明书中的其它商标，将会侵犯所有者的权利。[详细]

  2018-09-28 10:00

  产品样册

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• 色谱仪的进样系统简介

  色谱仪的进样系统简介[详细]

  2014-11-19 00:00

  操作手册

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• 色谱仪故障的种类

  色谱仪故障的种类[详细]

  2015-11-23 00:00

  安装说明

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