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空气洁净屏彩页
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专利
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空气洁净屏解决方案
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2012-11-24 00:00
报价单
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洁净工作台法净化空气
- 空气经过过滤的生产环境首先被航空航天工业使用。即使一个极其微小的缺陷都可造成卫星工作失误,因此,NASA(译者注:美国航空航天ZX)和其服务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且首chuang了许多基本的污染控制理念,其中包括从工作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。 半导体工业采用了许多这方面的技术。然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后,很难保持其固有的洁净度。早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为洁净工作台法。这个主要是把过滤器装在单个工作台上,并使用无脱落的物质。在工作台以外,晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。 在大型车间中按顺序排列的工作台(叫做工作罩)组成加工区,使晶圆依工艺次序经过而不从露于空气中。洁净工作罩中的过滤器是一种GX颗粒搜集过滤器(HEPA过滤器)。这些过滤器是由含许多小孔,并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成,由于高密度的小孔与大面积的过滤层,使得大量的空气低速流过。由于低速空气可避免产生空气流,有利于工作台的洁净度,并且对于操作员而言,在舒适的环境中工作也是必要的。典型的空气流量6为每分钟90到100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率,并可用于三种净化方法中。 一般来说,HEPA过滤器装于洁净工作台顶部。空气由风扇吸入先通过前置过滤器,再通过HEPA过滤器,并以均匀平行的方式流出,在工作台表面改变方向,流出工作台。安装档板可控制晶圆表面空气流动方向,通常这种方式称为空气层流立式式(VLF)工作台,它是由空气流的方向命名的。有些工作台把HEPA过滤器装于工作台后部,这种方式被称为空气层流平行(HLF)式工作台。 GX颗粒搜集过滤器(HEPA) DirtyAir脏空气 CleanAir净空气 空气层流立式工作台 Blower鼓风机 HEPAFilterHEPA过滤器 Prefilter前级过滤器 Shield挡板 AirFlow空气流 WorkSurface工作台面 这两种工作台按两种方法来保持晶圆清洁:首先是工作台内的空气净化;其次,净化过程在工作台内产生一点空气正压,正压可防止由操作员与走廊产生的污染物进入工作台。 使用化学溶液的工艺需要对VLF式工作台进行特殊设计,这种工作台必须接有空气排风,以吸收化学溶液蒸汽,因为蒸汽会产生安全及污染的危险。在这种设计下,必须平衡VLF与排风中的空气流,来维持工作台的洁净级别数。而且还要求晶片需存放在工作台中相对较洁净的前部。 净化工作台的方法还可应用于现代晶圆加工设备中。在每台设备上安装VLF或HLF式工作台来保持晶圆在装卸过程中洁净。浙江苏净净化设备有限公司位于浙江省绍兴市上虞区道墟镇,,是华东地区一家净化设备行业中的制造商之。可按ISO14644-1标准、GB50073-2001国家标准及国家GMP规范要求为微电子、生物医药、医院手术室、光纤光缆、食品饮料、精密仪器、半导体及新材料应用等行业提供专业的空气净化系统工程设计、施工、检测及技术服务。公司主营净化工作台系列、风淋室系列、通风柜系列,生物安全柜系列被广泛应用于YL卫生、电子、制药、生物、食品、农林、畜牧兽医、检验检疫、航空航天、汽车制造、精密仪器、大专院校和各科研机构,在国内和东南亚市场享有极高的声誉。浙江苏净净化设备有限公司竭诚为的消费者和经销商服务,将以Zyou质的产品;Z人性化的服务;Zdi廉的价格;热诚欢迎您的加盟![详细]
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2018-08-21 10:00
产品样册
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SMC空气洁净管路系统图
- SMC空气洁净管路系统图根据使用目的选定压缩空气质量参见指导①。参见指导②。参见指导③。参见下图配管系统图。参见指导④。选定时,参见各元件的详述页,选择Z合适的型号。确认适合用途例决定系统号No.确认组成系统的清净化元件参考清净化元件的标准组合决定型号指导③No.1指导①指导②压缩空气中的不纯物水分固态物相对湿度1**%5mg/m3(ANR)压缩空气的质量系统号No.空气过滤器有微量灰尘、水分、油分,但不含液态水注2)适合用途例油雾浓度注1)气味No.35m其他2、1020、4070、1005m其他2、1020、4070、1005mg/m3(ANR)有油味空气过滤器No.2相对湿度1**%0.3m1mg/m3(ANR)有油味有油味油雾分离器不含液态水,但已除去水分、油分和灰尘除去水气、但有微量灰尘和油分No.40.3m1mg/m3(ANR)有油味油雾分离器除去水气、灰尘、油分大气压露点17℃压力露点10℃大气压露点17℃压力露点10℃No.50.01m0.1mg/m3(ANR)有油味几乎除去所有水气、灰尘、油分大气压露点17℃压力露点10℃No.60.01m0.01mg/m3(ANR)油味少充分除去所有水气、灰尘、油分大气压露点17℃压力露点10℃No.70.01m0.004mg/m3(ANR)无油味无水气、灰尘、油分、达到高度洁净大气压露点17℃压力露点10℃No.80.01m0.1mg/m3(ANR)有油味油雾分离器无热再生式空气干燥器微雾分离器油雾分离器微雾分离器无灰尘、油分且具有特别低的露点无冷冻式空气干燥器时大气压露点50℃以下30℃以下往复式空压机主管路分支管路后冷却器(风冷)HAA系列气罐AT系列后冷却器(水冷)HAW系列后冷却器(风冷)HAA系列后冷却器(水冷)HAW系列螺杆式空压机带前置过滤器的微雾分离器高分子膜式的空气干燥器油雾分离器超微油雾分离器带前置过滤器的微雾分离器高分子膜式空气干燥器油雾分离器超微油雾分离器除臭过滤器带前置过滤器的微雾分离器高分子膜式空气干燥器关于配管①主配管沿空气流动方向应每1m有1cm的向下倾斜度。②在主配管的分支管处,应使用T形接头。压缩空气的取出口应设置在T形接口的上方,以防止聚积在管内的冷凝水流入分支管。③配管的所有低处及死端都应设置排水装置,以避免冷凝水的滞留。④考虑到将来配管扩展,在所有管的末端应使用T形接头,暂时用螺塞封住。注意●驱动一般工业省力装置用●气动工具用(气虎钳、气卡盘,气螺丝刀等)●一般清洁用()●一般工业用机器(驱动部为间隙密封)●计量测试设备●一般喷涂●一般干燥●和系统号No.1相同的用途,但配管途中温度降下大的场合●气动测量仪(气动测微计)●干燥,清净设备●静电喷涂●高级喷涂●空气轴承●药品、食品等的搅抖、输送、干燥、包装●洁净室用(相当于等级100)●电气、电子零件的干燥●干燥装料罐用●粉末输送●船舶计测装置留言注意事项:①.请您遵守中华人民共和国的各项有关法律法规,严禁发表危害国家、破坏民族团结、破坏宗教政策、破坏社会稳定、侮辱、诽谤等言论,承担一切因您的行为而直接或间接导致的民事或刑事法律责任。②.请您真实的反映产品情况,不要捏造、诬蔑、造谣。如对产品有任何疑问,也可以留言咨询。如果您觉得“SMC空气洁净管路系统图”描述资料不够齐全,请联系我们获取详细资料。[详细]
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2018-10-20 10:00
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