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FIB-SEM 小知识—气体注入系统(GIS)

本文由 泰思肯贸易(上海)有限公司 整理汇编

2021-05-21 13:58 1269阅读次数

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FIB-SEM 双束电镜不仅仅是将聚焦离子束与扫描电镜集成于一体,更重要的是通过集成其他辅助系统使 FIB-SEM 的加工及分析功能更加丰富。下图是 TESCAN LYRA3 FIB-SEM 样品室内部的照片,可以看到不同的部件的安装情况。其中气体注入系统 GIS 是 FIB-SEM 的基本配置之一,GIS 在 FIB-SEM 中起着非常重要的作用。

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