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TESCAN 扫描电镜之三维重构功能

本文由 泰思肯贸易(上海)有限公司 整理汇编

2021-05-21 14:01 1445阅读次数

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TESCAN 电镜具有 3D scanning 的功能,一方面可以通过倾斜电子束,不转动样品,实现3D 效果,另一方面也可以通过倾斜样品台实现 3D 效果,电子束摇摆模式可以实现表面高低起伏较大,小工作距离,高分辨下的三维重构,样品台摇摆模式更适用于表面较平坦,工作距离大时的三维重构。

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