上海微行炉业高真空系统

本文由 上海微行炉业有限公司 整理汇编

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• 上海微行炉业高真空系统

  组成，主要应用于气氛保护烧结、材料还原、材料真空脱气，精密材料真空热处理、时效处理、CVD实验等一些需要高真空或气氛保护环境下的热处理实验。 设备特点 外观精致、操作方便、升温速度快、保温性能好、使用寿命长、扩展升级功能广等特点； 炉体参数 石英管 Φ60/L1000mm 加热区尺寸 440mm 恒温区尺寸 气氛或大气状态≤200mm 真空状态≤260mm 极限温度 气氛或大气状态≤1200℃ 真空状态≤1100℃ 长时间工作温度 气氛或大气状态≤1100℃ 真空状态≤1000℃ 表面温度 < 60℃（1100℃保温） 控温精度 ±1℃ Zda允许正压 ≤0.02MPa 真空系统参数 真空抽速 机械泵：4L/S 分子泵：600L/S 前级压强 ≤5Pa 空炉冷态极限真空度 1.33×10-4Pa/1.0×10-6torr 压升率 ≤1Pa/h 真空量程 电阻单元1－1.0×105Pa 电离单元量程1.0－10-5Pa 连接方式 CF60 KF40[详细]

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