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薄膜材料的纳米力学测试解决方案

本文由 冠乾科技(上海)有限公司 整理汇编

2021-04-25 11:36 2106阅读次数

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由于底材的影响,薄膜材料弹性模量的可靠测量是非常有挑战性的。特别是当薄膜厚度小于200nm的时候,限制测试10%的镀膜厚度来避免底材机械力因素是一种有效的预防原则。探针的曲率半径是许多影响因素之一。

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