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FS4000系列气体质量流量传感器说明书

本文由 上海科学仪器有限公司 整理汇编

2018-11-16 10:00 1379阅读次数

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siargoltdFS4000系列微型气体质量流量计是采用微机电系统(MEMS)流量传感器技术和智能电子控制技术,专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量,低压损。适用于净化空气或氮气流量监控,还可用于环境采样器(如色谱分析仪器等)siargoltdFS4003流量传感器,管道内径为3mm,成本低测量范围Zda到5SLPM;适用于粒子计数器和各类分析仪器。siargoltdFS4008流量传感器,管道内径为8mm,测量范围Zda到50SLPM;可用于麻醉设备、洁净气体检测,如:空气采样机,气体分析仪等产品特点:-专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计-支持多种连接方式,易于安装与使用-传感芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量-在单个芯片上实现了多传感器集成,使其量程比达到了100:1甚至更高-输出方式灵活,既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据,也可通过模拟接口输出线性的模拟电压-零点稳定度高-全量程高稳定性、高极ng确度和优良的重复性-低功耗、低压损-响应速度快机械尺寸:性能参数FS4003FS4008单位通径38mmZda流量2,3,4,510,20,30,40,50SLPM量程比>100:1精度±(1.5+0.2FS)%重复性0.5%零点输出飘移±30mV输出飘移0.12%/oC响应时间10(默认、20、50、100、200、500、1000可设置)ms工作电源8~24Vdc,50mA输出方式线性,RS232/模拟电压0.5~4.5VdcZda流量压损100600paZda工作压力0.5MPa工作温度-10~+55oC存储温度-20~+65oC工作湿度<95%RH(无结冰、无凝露)机械接口BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头校准方式空气(或其他气体),20oC,101.325kPa重量52(带R1/4,BSPT1/4接口)71(带4mm,8mm快速接口,68(带6mm快速接头)g

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