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经济型台式扫描电镜 3200M产品样册
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经济型台式扫描电镜 3200M产品样册
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2016-10-20 09:56
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台式扫描电镜:为什么选择CeB6灯丝
- 如果你正在调研扫描电镜(SEM),你可能已经知道,灯丝是电镜中Z重要的部分之一。在这篇博客,我们将仔细讨论钨灯丝和CeB6灯丝。如何选择扫描电镜灯丝?对于不同的灯丝,就性能而言,场发射(FEG)扫描电镜图像的分辨率是Z高的。但是就电镜的日常使用而言,Z重要的一点还是以低成本获得高质量的图像,这样一来场发射电子枪就不再那么吸引人了,因为它要求的真空度很高,需要一个高价的真空设计。电子枪的成本效率是相对于它的使用寿命和日常维护而言的。这就是为什么经常看到钨灯丝和CeB6灯丝出现在(台式)SEM供应商的配置清单中。图一:钨灯丝与CeB6灯丝灯丝是一种耗材通常情况下,我们都希望灯丝使用寿命能够贯穿SEM的整个生命周期,可能需要10年甚至10年以上。不幸的是,灯丝是消耗品,不可避免地会“磨损”。灯丝的寿命取决于两个主要因素:1)运行的真空度,2)灯丝温度。低真空度和温度过高都会导致灯丝寿命减短。而高真空度,低温可以延长灯丝的寿命,但也会降低图像质量。因此,在Zyou条件下运行灯丝很重要。SEM真空系统不同的灯丝,SEM真空系统的设计有所不同。在钨灯丝系统中,灯丝的真空度受到运行状态影响。例如,每次加载或卸载样品时,都会有空气进入真空柱,影响灯丝的使用寿命。观察不导电样品时,通常需要低真空,也会缩短灯丝寿命。对于CeB6系统,比如飞纳电镜,内置涡轮分子泵,采用分级真空系统,通过压差光阑使得真空柱的各部分具有不同的真空度,保证灯丝时刻处于高真空的状态下。这意味着,在低真空环境下加载和观测样品不会影响灯丝寿命。图2:真空柱的截面图与电子枪结构示意图SEM灯丝寿命的终结如何判断灯丝寿命的尽头?对于钨灯丝,你根本看不到它的到来。这意味着灯丝可能在成像或分析过程断裂,这会带来很多不便。来自灯丝的碎片也可能污染真空柱的其他部件,这不仅需要换灯丝,还要清理、甚至更换其他部件,如韦氏帽。当然,可以在使用寿命结束前更换灯丝,但它没有得到充分利用,因此需要频繁地更换。如果您有大量的SEM用户,您不可能总有机会及时更换灯丝除非整个团队都接受了更换灯丝的培训。而且更换灯丝后常常会引起灯丝不居中。CeB6灯丝在寿命的尽头将会有一个缓慢的性能退化过程。这意味着您将看到它的到来,CeB6灯丝不会突然中断,因此可以有计划地安排更换。我们是可以看到CeB6灯丝老化的迹象的,如为了获得与平时同样质量的图片时,用户需要将对比度和亮度调得更大,或者使用更大的束斑。灯丝:使用寿命钨灯丝的平均寿命取决于它的使用,大约是150小时。有一些技巧可以延长灯丝的使用寿命。一种是当测完样品后,不要急着卸载样品,可以先等5分钟。这使灯丝冷却一点,减少氧化。当然,这个小技巧会降低测样效率,因为需要多等5分钟。另一种选择是使用低加速电压、低束流成像,这可以增加灯丝寿命,但往往会降低降低图片质量,特别是低加速电压下成像。CeB6灯丝的平均寿命大约为2000小时。在它的使用寿命中,即使加载和卸载许多样品,或者使用低真空成像,性能依旧保持良好。灯丝:维护一般用户可以更换钨灯丝,这是一个必要的先决条件,因为更换灯丝的频率很高,有时候一周一次。摘除、安装和校准灯丝是很容易的,它只是需要时间。更换灯丝所需的时间取决于旧灯丝的状态。如果旧灯丝没有断裂,那么您将可能在20分钟内启动系统并再次运行。如果真的断裂了,就需要更多的时间来清理韦氏帽等其他部件,以保证同样的性能。CeB6灯丝也可以被用户更换。但是更换的频率比较低,一般2-3年才更换一次。因此,这不像钨灯丝是一个“常规”的工作。更好的方法是计划更换,并由售后工程师完成。这意味着用户不用进行库存。就像在你的车更换机油:你可以自己做,但你更喜欢一辆在车库里进行定期检查时才需要更换机油的汽车。扫描电镜灯丝:推荐通过考虑以上所有的优点和缺点,我们可以得出结论,对于钨灯丝和CeB6灯丝来说,拍出每张图片的成本可能是差不多的。然而,考虑到无忧的、方便的使用和操作,以及每一张图片的质量,显然,CeB6灯丝更好。[详细]
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