用INFICON 3000微型GC分析六氟化硫的纯度(SF6)

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  如何选择INFICON真空计　　　　一，皮拉尼真空计　　　　1.皮拉尼真空计原理　　　　加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度　　　　由于气体粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化　　　　热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系　　　　2.衍生出两种类型的皮拉尼规　　　　1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICONPSG500）　　　　2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）　　　　3.气体的热传导，与下列提条件有关:　　　　1，气体类型　　　　2，压力大小　　　　4.皮拉尼真空计测量范围与精度　　　　测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5x10-4至1000mbar　　　　精度（氮气）:1x10-3…100毫巴±15%　　　　5x10-4…1x10-3毫巴±50%　　　　100...1000毫巴±50%　　　　5.皮拉尼真空计的优特点　　　　灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以Zda的保护，大大延长了灯丝的使用寿命　　　　6.皮拉尼真空计具体型号　　　　lPSG050/051　　　　lPSG100-SPSG101-S　　　　lPSG500/500-SPSG502　　　　l皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400PCG410PCG550　　　　1.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起　　　　2.两种原理的规管全过程都工作　　　　3.100mbar1000mbar使用薄膜规信号　　　　4.1mbar100mbar两规信号同时采用　　　　5.5x10-4mbar1mbar采用皮拉尼信号　　　　6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃　　　　7.皮拉尼真空计应用行业　　　　l各种高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业　　　　l各种中低真空测量，如照明，冶金　　　　l真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG100　　　　lPSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216　　　　lPCG400PCG410（现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已经停产）与PSG500基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用　　　　lPSG100PSG101，与PSG500/PSG050基本相同，但因为具有通讯协议功能，在大系统中应用广泛　　　　二，电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/200　　　　1.电容薄膜规工作原理　　　　l压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系　　　　l通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度　　　　2.电容薄膜规特点　　　　l以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成　　　　l在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量　　　　l快速的预热和恢复时间,提高生产率　　　　lzhuo越的长期稳定性,再现性和重复性　　　　l由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性　　　　l对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定　　　　l快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态　　　　l一键按钮:调零功能和设点调整　　　　l抗腐蚀超纯陶瓷传感器　　　　l能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象　　　　l暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀　　　　l对蒸气介质不敏感　　　　l先进的传感器屏蔽（ZL）延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命　　　　3.INFICON陶瓷技术　　　　l陶瓷技术的优越性　　　　1，无“记忆”效应　　　　2，陶瓷无疲劳问题　　　　3，**的温度补偿　　　　4，zhuo越的零点稳定性　　　　l低使用成本　　　　1.非凡的使用寿命　　　　2.无需隔离阀　　　　4.SkyCDG025D测量范围　　　　5.加热型薄膜规　　　　6.加热型优点　　　　l零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）　　　　l更高的精度　　　　l环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响　　　　l比工艺更快的预热启动时间’　　　　l快速恢复时间大气压<1minwithin5mV　　　　l任意安装角度　　　　l抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响　　　　7.电容薄膜规的应用　　　　要求高的应用条件下，极ng确而快速的压强测量　　　　l用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。　　　　l资料贮存和显示器制造设备　　　　l工业真空设备　　　　l常用高精度真空测量　　　　三，热电离规　　　　1.热电离规原理　　　　Richardson效应:高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子　　　　1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出　　　　2）离子流的大小与气体压力成比例关系　　　　2.两种类型热电离规　　　　3.热电离型复合规　　　　lHPG400　　　　lBPG400/-SP/-SD/SR　　　　lBPG402　　　　lBCG450B-A规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起　　　　l　　　　4.优点及应用　　　　lBPG　　　　n测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-101000mbar　　　　n精度高，极好的重复性5%　　　　n灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。　　　　n方便的校准调节　　　　n注意事项：　　　　u对气体有选择性　　　　u抗污染能力弱　　　　n普遍应用于从低到超高真空的测量　　　　n在工业，半导体，研究行业应用广泛　　　　lBPG402　　　　n双灯丝，大大延长使用寿命　　　　n电离规的工作可以自定义控制　　　　n探头备件自带校准参数，保证精度与重复性　　　　lHPG400　　　　n电离规与皮拉尼的复合　　　　n皮拉尼自锁保护电离规　　　　n电离规的工作启动点可以一定范围内自定义　　　　n简易的校准功能　　　　n相对便宜的价格　　　　lBCG450　　　　n可调的电离规工作起点　　　　n的重复性　　　　n极ng确的大气端测量　　　　四，冷电离规（潘宁规）　　　　1.冷电离规原理　　　　通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离　　　　2.潘宁规特点与应用　　　　l测量范围：5x10-9to1x10-2mbar　　　　l全金属密封　　　　l无灯丝　　　　l易清洗　　　　l应用于普通的高真空测量　　　　3.冷规复合规MPG400特点与应用　　　　l冷规与皮拉尼规的复合　　　　l测量范围广：5x10-9-1000mbar　　　　l易于保养清洗　　　　l无高真空灯丝，　　　　l应用于普通高真空测量　　　　4.冷规及复合规性能比较[详细]

  2024-09-21 20:36

  产品样册

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• MICRO GC FUSION微型气相色谱仪产品样册

  MICRO GC FUSION微型气相色谱仪产品样册[详细]

  2024-09-16 21:55

  操作手册

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• 水纯度的国际标准

  水纯度的国际标准[详细]

  2024-09-29 05:28

  选购指南

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• DSC纯度的测定

  纯度的测定图1.40给出了一组不同纯度的苯甲酸的DSC曲钱，图中示出纯度越高，熔点越高．熔融峰越尖陡。利用因材科不纯而导致点下降这一原理来测定物质纯度的方法叫熔点下降法。化学热力学中叫凝固点下降。熔点下降与杂质量之间的关系用Van’tHoff方程表示。式中△H是摩尔熔融热焓，R是气体常数，X2是杂质的摩尔数，T0是纯物质的熔点，而Tm是已掺杂材料的熔点．因为Tm很难求准，一般用作图法求：定义f为试样在温度为Ts时已溶化的分数将Ts对1／f作图应为直线，其斜率＝To一Tm，即熔点下降值．将斜率代入Van’tHoff方程，就求出X2。美国PerkinE1mer公司用DSC方法测定罩丸甾酮的纯度，如图1.4l所示。曲线上标出的几个温度值是试样熔融部分的百分比在1050％范围内的几个点上测得的。以A点为例，从A作基线的垂线AB，AB线以前的面积即为已熔面积A1，DSC曲线下总面积为AT，所以A点的已熔分数从A按纯金属铟（99.999%）熔融峰起始边的斜率向基线引AD，交基线于D，此点的温度即Ts用同样的方法求出其它点的Ts和f，把各点的Ts对1／f作图，得到如图1.42所示的直线．因此从斜率可求出X2=0.0042，即试样纯度为99.6%。这种方法测定纯度的公式是从C1ausius-Clapeyron。方程及Raoult定律推导出来的，有一定的假设条件。只有当试样纯度高于99%时用凝固点下降原理才能够得到高的准确度。随杂质含量的增加，准确性下降．为了改善纯度测定的准确性，考虑被忽略的预熔部分，可用偿试误差法解决Ts1/f不成直线的问题。由于DSC曲线基线取法对面积值影响很大，特别对纯度低的试样影响更严重．假设误差为δ，则式中AT为DSC曲线峰总面积，A1，A2，…为已熔部分的降面积，f1，f2，…为已熔化分数．若Ts1/f不成直线，就改变δ值，直到Ts1/f成直线为止，这样就可以较准确地求得T0一Tm值，图1.43示出的是苯纯度测定中的直线化方法．D.L.Sondack提出在DSC测定纯度过程中用一个简单方程对数据进行直线化的方法．目前PerkinElmer公司出售的DSC2C仪或DSC7仪都有纯度测定软件。[详细]

  2024-09-30 07:52

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• SF6密度继电器校验仪 MHY-26299

  SF6密度继电器校验仪MHY-26299采用微机技术，能对各种SF6密度继电器进行校验，以及对SF6气体任意环境温度下的压力进行标准换算的一种便携式校验仪器,为SF6电气产品的生产、安全运行、预试和维护提供方便。产品特征a.仪器采用小型真空泵，探头与主机为分体式。b.机电一体化设计，精度高，重复性好，可靠性高c.能同时测试一组报警信号、二组闭锁信号d.配有多种型号过渡接头，大多数型号开关的密度继电器不用拆卸即可进行现场校验;e.除密度继电器校验功能外，本仪器还具有20℃压力表校验和常温压力表校验功能f.汉字报表式打印测试结果，并对试验结果进行智能分析g.原理为空气中含有的六氟化硫气体浓度变化时，该混合气体在高频电磁场的作用下其电离的程度也将不同制造的，通过检测电离度即可反映六氟化硫浓度。产品别称SF6密度继电器校验仪、SF6气体检漏仪、SF6气体密度继电器校验仪、SF6密度继电器测试仪、密度继电器校验、定量气体检漏仪技术参数1、工作电压：AC220V、50Hz，仪器功率：55W，仪器精度：0.20级2、压力显示分辨率：0.001MPa，压力校验范围：0～1.000MPa，环境温度显示分辨率：0.1°C，环境温度测量范围：-50℃～150℃，工作湿度：90%RH3、校验对象：单报警、单闭锁、单报警单闭锁、双报警双闭锁4、显示方式：320X240图形点阵单色液晶屏5、测量压力类型：压力和相对压力6、测量触点电压：DC24V和DC110V7、操作方式：一键飞梭输入，打印机型：高速热敏打印机8、打印方式：汉字报表式打印，存储容量：可同时存储32次试验结果9、SF6气体密度显示方式：被测环境下的压力、20℃时的等效压力。10、外形尺寸：380X275X240(mm)，仪器重量：8Kg[详细]

  2018-09-17 10:00

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• 用微型高分辨率光谱仪监控等离子体

  用微型高分辨率光谱仪监控等离子体[详细]

  2016-07-25 00:00

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