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为什么扫描电镜(SEM)的束斑直径那么重要

本文由 复纳科学仪器(上海)有限公司 整理汇编

2018-08-22 10:00 438阅读次数

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近年来,随着科技的发展和材料尺寸的不断缩小,扫描电镜(SEM)已经成为一种非常有价值的表征方法。SEM作为一种通用的工具,方便用户可以对各种各样的材料进行多种不同类型的分析。为获得更好的结果,用户应该仔细设定SEM参数。其中一个设置是束斑直径,即照射在样品上的电子束直径。在这篇博客中,阐述了如何在SEM中调整束斑直径,以及如何在高分辨率成像和大束流之间实现平衡,以获得**结果。如何在SEM下调整束斑直径描述SEM中电子束性质的四个主要参数如图1所示:使电子在电镜腔室中运动的加速电压电子束的会聚角轰击样品的电子束流大小到达样品表面的Z终束斑直径。图1:SEM中电子束的四个主要参数:加速电压、会聚角、电子束流和束斑直径

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