四探针测试仪百科

PRTS-4A型全自动扫描四探针测试系统 PRTS-4A全自动扫描四探针测试系统是运用四探针测量原理的多用途综合全自动测量设备。该设备按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用设备。通过全自动测试系统，对晶圆片进行电阻率和方块电阻分布的测量，绘制出等值线图后，从而直接观察到整个晶圆片的电阻率或方块电阻大小的分布。 PRTS-4A全自动扫描四探针测试系统通过采用四探针双位组合测量技术，将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上。利用电流探针和电压探针的组合变换，进行两次电测量，其Z后计算结果能自动消除由样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素所引起的，对测量结果的不利影响。因而在测试过程中，在满足基本条件下可以不考虑探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置等因素。这种动态地对以上不利因素的自动修正，显著降低了其对测试结果的影响，从而提高了测量结果的准确度。 PRTS-4A全自动扫描四探针测试系统拥有友好操作测试界面，通过此测试程序辅助用户简便地进行各项测试操作，把采集到的测试数据进行数学分析，然后把测试数据以Excel表格，2D、3D等数值图直观地记录、显示出来。方便用户对数据进行各种数据分析，用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，

1)测试仪设计，符合国标和行业规范，获国家ZL。ZL号：ZL201220082173.9 2)同步式连续多点测试，GX快捷、准确度高、重复性好。一次装料，电阻率、压强、高度同步式连续多点测试，可快速绘制粉末“电阻率-压强”曲线。行业推荐粉末电阻率标准测试方式。可避免传统异步式的先压片脱模后再四探针测试的缺项：误差大，重复性差，直至散块不能成形无法测试的问题。 3)带智能化电脑软件.可以保存、查询、统计分析数据和打印报告。 4）USB通讯接口，通用性好、方便快捷。 5）8档位超宽量程。同行一般为五到六档位。 6）可脱电脑单机操作,小型化、手动/自动一体化。操作简便、性能稳定，所有参数设定、功能转换全部采用数码键盘输入。 7）可拓展功能：压片机可独立当普通压片机用，电阻率测试仪也可以增配四探针测试台、探头拓展为普通四探针测试仪或电池极片电阻率测试仪。

1)测试仪设计，符合国标和行业规范，获国家ZL。ZL号：ZL201220082173.9 2)同步式连续多点测试，GX快捷、准确度高、重复性好。一次装料，电阻率、压强、高度同步式连续多点测试，可快速绘制粉末“电阻率-压强”曲线。行业推荐粉末电阻率标准测试方式。可避免传统异步式的先压片脱模后再四探针测试的缺项：误差大，重复性差，直至散块不能成形无法测试的问题。 3)带智能化电脑软件.可以保存、查询、统计分析数据和打印报告。 4）USB通讯接口，通用性好、方便快捷。 5）8档位超宽量程。同行一般为五到六档位。 6）可脱电脑单机操作,小型化、手动/自动一体化。操作简便、性能稳定，所有参数设定、功能转换全部采用数码键盘输入。 7）可拓展功能：压片机可独立当普通压片机用，电阻率测试仪也可以增配四探针测试台、探头拓展为普通四探针测试仪或电池极片电阻率测试仪。

1)测试仪设计，符合国标和行业规范，获国家ZL。ZL号：ZL201220082173.9 2)同步式连续多点测试，GX快捷、准确度高、重复性好。一次装料，电阻率、压强、高度同步式连续多点测试，可快速绘制粉末“电阻率-压强”曲线。行业推荐粉末电阻率标准测试方式。可避免传统异步式的先压片脱模后再四探针测试的缺项：误差大，重复性差，直至散块不能成形无法测试的问题。 3)带智能化电脑软件.可以保存、查询、统计分析数据和打印报告。 4）USB通讯接口，通用性好、方便快捷。 5）8档位超宽量程。同行一般为五到六档位。 6）可脱电脑单机操作,小型化、手动/自动一体化。操作简便、性能稳定，所有参数设定、功能转换全部采用数码键盘输入。 7）可拓展功能：压片机可独立当普通压片机用，电阻率测试仪也可以增配四探针测试台、探头拓展为普通四探针测试仪或电池极片电阻率测试仪。