四探针测试仪测量误差

       四探针测试仪是根据四探针测试原理研究成功的多用途的综合测量装置，它可以测量棒状、块状半导体材料的电阻率和半导体扩散层的薄层电阻进行测量，可以从10-6--105Ω—cm全量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电阻，是硅材料质量监测的仪器。

       四探针测试仪为台式结构，分为电气箱、测试架两大部分，用户可以根据测试需要安放在一般工作台或者工作台上，测试架由探头及压力传动机构、样品架组成，耐磨和使用寿命长的特点。

       探头内设有弹簧压力装置，压力从0—2Kg连续可调，测试架设有手动和电动两种装置供用户选购。

       四探针测试仪电气箱主要由高灵敏的直流数字电压表和高稳定的恒流源组成，测量结果由数字直接显示，仪器有自校量程，可以方便地对仪器的电气性能进行校验。仪器具有测量高、灵敏度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点，仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科学研究部门、高等院校，对半导体材料的电阻性能测试及工艺检测。

       四探针测试仪主要参数：

范围：电阻率10-4—103Ω—cm，可扩展至105Ω—cm，分辩率为10-6Ω—cm

方块电阻10-3—103Ω 

电阻10-6—105Ω

可测半导体尺寸：直径Φ15—150mm

测量方式：轴向、断面均可（手动测试架）

数字电压表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

测量误差------------ 0.2mV档±（0.3%读数+8字）

2 mV档以上±（0.3%读数+2字）

输入阻抗0.2mV、2mV挡105Ω    0mV档以上>108Ω

显示3 1/2位数字显示，0—1999

具有极性和过载自动显示，小数点、单位自动显示

恒流源：

（1）电流输出：直流电流0—100mA连续可调，由交流电源供给

（2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五档

（3）电流误差-----：±（0.3%读数+2字）

四探针测试探头

(1）探头间距：1mm   (2)探针机械游率：±0.3%

(3) 探针：Φ0.5mm    (4)压力：可调

测试架：

（1）手动测试架：探头上升及下降由手动操作，可以用作轴向和断面的单晶棒和硅片测试。

（2）电动测试架：探头的上升和下降由电动操作，设有自动控制器控制，探头上升时间1S—99S可调，探头下降时间1S—99S可调，压力恒定可调（由砝码来设定）同时设有脚踏控制装置由脚踏开关控制探头上下运动。

电流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W

外形尺寸：电气箱130×110×400mm