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FT-3110系列全自动四探针测试仪
- 品牌:瑞柯微
- 型号: FT-3110
- 产地:浙江 宁波
- 供应商报价:面议
- 宁波瑞柯微智能科技有限公司 更新时间:2024-09-13 08:21:36
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销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照已审核
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产品特点
- 1.自动量程
2.双电组合测试方法
3.标准电阻校准仪器
4.PC软件运行
5.同时显示电阻、电阻率、电导率数据.
6.可显示5位有效数字. 详细介绍
FT-3110系列全自动四探针测试仪
一.功能描述:
四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件. 报表输出数据统计分析.
FT-3110系列全自动四探针测试仪
二.适用范围
晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等;半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏等.
FT-3110系列全自动四探针测试仪
三.技术参数:
规格型号
FT-3110A
FT-3110B
1.电阻
10^-5~2×10^5Ω
10^-6~2×10^5Ω
2.方块电阻
10^-5~2×10^5Ω/□
10^-6~2×10^5Ω/□
3.电阻率
10^-6~2×10^6Ω-cm
10-7~2×106Ω-cm
4.测试电流
0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,
10mA,100mA
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.电流精度
±0.1%
6.电阻精度
≤0.3%
7.PC软件操作
PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、
报表生成等
8.压力范围:
探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调
9.探针
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%
圆头铜镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制
10.可测晶片
尺寸选购
晶圆尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);
方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式
单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
12.加压方式
测量重复性:重复性≤3%
13.安全防护
具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
14.测试环境
真空
15.电源
输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W
16.选购项目
电脑和打印机
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