X射线光电子能谱仪的特点

X射线光电子能谱技术（XPS）为一种在电子材料与元器件显微分析中先进的分析技术，并且经常与俄歇电子能谱技术（AES）配合进行使用的分析技术。因为和俄歇电子能谱技术相比较，它能够将原子的内层电子束缚能及其化学位移测量的更为准确，因此其除了可以将分子结构和原子价态方面的信息提供用于化学研究，而且还可以将各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、化学键方面的信息提供用于电子材料研究。其在对电子材料进行分析时，不仅总体方面的化学信息能够被提供，而且表面、微小区域和深度分布方面的信息也可以被给出。除此以外，由于入射到样品表面的X射线束是一种光子束，因此，仅仅对样品产生非常微小的破坏，改点十分有利于对有机材料和高分子材料的分析。

特点

XPS作为一种现代分析方法，具有如下特点 ：

1、能够做定量分析。不仅能够对元素的相对浓度加以测定，而且能够对相同元素的不同氧化态的相对浓度进行测定。

2、为一种高灵敏超微量表面分析技术。2纳米为样品分析的深度。信号从表面几个原子层来，样品量能够少到1e-8克，jue对灵敏度能够达到1e-18克。

3、能够对除了H和He以外的所有元素进行分析，对所有元素的灵敏度的数量级一致。

4、相邻元素的同种能级的谱线有着较远的间隔，所以相互较少干扰，元素定性有着较强的标识性。

5、可以对化学位移进行观察。原子氧化态、原子电荷和官能团和化学位移相关联。XPS用作结构分析和化学键研究是基于化学位移信息。