离子减薄仪功能开发背景

离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器。离子减薄仪有着较快的制样速度。可以以zui小的耗费将高质量的TEM样品制备出来。该仪器可以快捷方便地进行操作，低能量离子枪功能为其所配备，对能量敏感性样品的减薄特别适合。液氮冷台为其所配备，对温度敏感性样品的减薄特别适合。陶瓷、半导体、金属和合金等多种材料的透射电子显微镜（ TEM）样品的制备为该仪器的主要用途。

离子减薄仪功能开发背景

页岩气为一种开采自页岩层中的非常规且相当重要的天然气资源，其广泛地分布于世界各地。页岩气的开采zui开始于美国，并且取得的效果非常显著。zhong国有着丰富的页岩气资源储量。资源潜力和勘探开发前景均十分大。页岩气通过自生自储的方式在页岩的微小孔隙及裂缝中存在着。因此页岩气开采评价的重要研究内容即为页岩中的微孔隙及微裂缝。页岩中孔隙大部分是纳米级，因为样品表面凹凸不平，这些孔隙通过常规制样方法使用扫描电镜进行观察相当的困难。一项技术为国外研究人员所采用。shou先使用机械方法磨平样品表面，之后往氩离子抛光仪中放入样品，抛光样品表面，抛光后的样品表面平整光滑。其中的孔隙使用扫描电镜变得相对容易观察。可以通过对实验室原有的离子减薄仪的改造，来使氩离子抛光功能得以实现。离子减薄仪的作用是对样品进行减薄，来使透射电镜观察的要求得以满足。