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应力仪

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应力仪基本构造

更新时间:2026-01-09 20:00:26 类型:结构参数 阅读量:6
导读:应力仪(通常指偏振光应力仪或自动定量应力分析系统)基于光致双折射原理,通过测量偏振光穿透透明或半透明材料后的相位延迟量,进而换算出应力分布。作为精密光学仪器,其构造设计直接决定了测量的空间分辨率与重复性精度。

应力仪的物理构架与核心组件深度解析

在精密制造、材料科学及光学工程领域,残余应力的量化分析是评估产品可靠性的关键环节。应力仪(通常指偏振光应力仪或自动定量应力分析系统)基于光致双折射原理,通过测量偏振光穿透透明或半透明材料后的相位延迟量,进而换算出应力分布。作为精密光学仪器,其构造设计直接决定了测量的空间分辨率与重复性精度。


光源系统:高均匀度与单色性保障

光源是应力仪的起点,其性能决定了信号的信噪比。现代工业级应力仪普遍摒弃了传统的白炽灯,转向半导体照明方案。


  • LED面光源: 采用高弥散透射板,确保整个视场内的光强均匀性误差控制在5%以内。
  • 滤光系统: 为了实现定量分析,通常需要特定波长的单色光(如546.1nm或590nm)。单色性越好,干涉色条纹越清晰,计算出的相位延迟越准确。
  • 偏振态调制: 光源后方紧跟起偏镜(Polarizer),其消光比通常要求达到10,000:1以上,这是获取纯净线偏振光的基础。

偏振光学路径:相位延迟的捕获机制

偏振光学路径是应力仪的物理中枢。光线在通过被测样品时,受内部应力影响产生双折射,分解为快光和慢光,两者产生相位差。


  1. 起偏镜与检偏镜: 二者正交安置形成暗视场。检偏镜(Analyzer)多采用高透过率的偏振膜或格兰-汤普森棱镜。
  2. 补偿片(波片): 常见的是1/4波片,用于Senarmont补偿法。通过旋转检偏镜的角度来抵消样品的相位延迟,将物理位移转化为角度增量,从而实现纳米级的测量精度。
  3. 成像物镜: 工业级应力仪多配备远心镜头(Telecentric Lens),以消除透视误差,确保样品边缘和中心的测量比例一致。

关键技术参数指标参考

为了直观呈现高性能应力仪的技术标准,以下列出行业主流设备的典型参数范围:


核心组件/指标 工业级标准参考值 科研级高性能指标
测量范围 (延迟量) 0 - 300 nm 0 - 2000 nm
测量精度 (重复性) ± 1.0 nm ≤ 0.1 nm
空间分辨率 100 μm/pixel ≤ 10 μm/pixel
偏振镜消光比 > 1,000:1 > 10,000:1
光源波长半宽度 ≤ 10 nm ≤ 3 nm
图像传感器像素 200万 - 500万 1200万以上

数字采集与信号处理架构

随着数字化转型的推进,应力仪已从目视对比进化为全自动图像处理。该模块主要由光电传感器与后端算法构成。


  • 图像传感器: 采用高动态范围(HDR)的CCD或CMOS,要求具备极低的暗电流噪声。在测量超低应力(如精密光学玻璃)时,传感器的灵敏度决定了能否捕获低于1nm的相位延迟。
  • 计算模型: 核心算法涵盖了四步移相法或全场相位解包裹技术。系统将获取的偏振光强度分布通过Mueller矩阵或Jones矩阵运算,实时转换为应力云图。
  • 校准补偿模块: 由于机械应力或环境温度变化,光学系统本身可能产生初始双折射。资深从业者深知,高质量的应力仪必须具备“软件调零”功能,通过空载标定消除光路自身的底噪。

结构稳定性与环境适应性设计

在实际的生产线或实验室环境中,应力仪的机械构架同样不容忽视。


  • C型/框架式支撑: 必须具备极高的刚性,防止起偏镜与检偏镜在测量过程中产生微小倾斜,否则会引起非正交误差。
  • 载物平台: 多采用无应力玻璃支撑或气浮平台,避免夹具压力或自重对薄片类样品产生二次应力干扰。

应力仪并非简单的偏振片组合,而是集光学调制、精密机械与算法解算于一体的综合系统。对于从业者而言,理解这些基本构造及其背后的数据指标,是实现高精度检测与失效分析的前提。


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