辉光放电质谱仪的前景
一种将辉光放电源当作离子源并且和质谱仪器联接行质谱测定的分析方法，被称为辉光放电质谱法，英文名：glow discharge mass spectrometry，简称为GDMS。GDMS应用于多个学科领域，作用举足轻重，在材料科学领域，GDMS已经变成了无机固体材料，特别是高纯材料杂质成分分析的强有力方法。GDMS已经变成了反应性和非反应性等离子体沉积过程的控制和表征的工具。
发展前景
到目前为止，在直接进行固体导电材料的痕量及超痕量元素分析的手段当中，辉光放电质谱法(GDMS)是被认为zui行之有效的。因为其能够直接进行固体进样，所以在这二十年以内已经在高纯金属、合金等材料的分析领域得到了非常广泛的应用，除了宽动态线性范围的优点以及优越的检测限为GDMS所具备，而且样品能够较为简单地进行制备，有着比较低的基体效应并且元素间有着较小的灵敏度差异。GDMS因为他的分析性能比较优越，可以广泛地应用于电子学、化学、冶金、地质以及材料科学等领域里。其在高纯金属和半导体材料分析中的优越性已经被显示出来。也在积极地研究和完善它在绝缘体、粉末、液体、有机物和生物材料分析以及负离子测定中的应用。有着非常广阔的发展前景。
表面及深度分析应用
辉光放电质谱的原子化过程是阴极溅射过程，持续地逐层剥离样品原子的质谱信息，其所反映的化学组成也由表及里,随着溅射过程而变化,所以深度分析也可以使用GDMS。相比于GDAES，GDMS的优点是元素的覆盖范围更加的宽以及检出限也更加的低。然而GDMS却没有较为迅速的速度。辉光放电质谱深度分析的应用文献增长速度相当的快，在这当中，占比较非常多的是不同类型金属涂层分析，并且该技术在氧化物、 氮化物和一些其它的非金属涂层分析中也应用的相当成功。
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