杭州电子科技大学:国产双束电镜助力打造科研育人新标杆
此次平台建设中,我们明确选用国产FIB(DB550)设备。这一决策不仅响应了国家科技自立自强的号召,也将在实际应用中验证国产设备的技术实力。
——杭州电子科技大学电子信息大仪中心主任
兼扫描电镜技术联合实验室负责人 郑雪峰
在国家科技自立自强的时代背景下,越来越多的顶尖高校开始将目光投向国产高端科学仪器。在电子信息与集成电路领域,杭州电子科技大学(以下简称“杭电”)以其鲜明的学科特色和科研实力有名。2025年,杭电电子信息大仪中心引入自主研发的聚焦离子束电子束双束显微镜(DB550),成功构建扫描电镜技术联合实验室,为学校科研创新、人才培养及仪器市场化运营注入强劲动力。这一合作不仅彰显了杭电在高端科研平台建设中的前瞻视野,也展现了在技术与服务上的卓越实力。
杭电电子信息大仪中心是学校支撑电子信息特色专业高质量发展的核心平台,拥有103台大型仪器设备,分布于三个校区47个实验室,总面积近5000平方米。中心近三年支持32项国家重大重点项目,助力团队发表30余篇国际顶刊论文,其中“大数据存储硬盘阵列核心技术研发和产业化”项目荣获浙江省科技进步奖一等奖。为进一步提升微纳领域科研能力,中心建设了扫描电镜技术联合实验室。
中心主任兼实验室负责人郑雪峰高级实验师介绍:“我们希望整合学校现有科研资源,构建从微观观测到微纳米加工的完整研究链条。双束电镜DB550的引入,填补了扫描电镜、透射电镜、双束电镜‘三镜’体系的最后一块拼图,为集成电路、智能传感、半导体材料与器件等领域的全流程研究提供了尖端支撑。”
作为电子信息大仪中心的重要组成,扫描电镜技术联合实验室规划了明确的科研与人才培养目标。在科研方面,实验室聚焦材料微结构分析、芯片失效诊断及微纳加工制造,满足多领域综合性需求。
在人才培养方面,杭电设计了“理论-实操-科研应用”的闭环培养体系。郑雪峰主任介绍:“本科生从基础SEM操作入手,优秀者参与FIB专项培训;研究生则将FIB操作作为必备技能,提升综合实验能力。DB550兼具观察与加工功能,是培养学生仪器操作能力的理想平台。”
在实验室建设中,杭电明确选择国产设备,响应国家科技自立自强的号召。郑雪峰主任表示:“以往依赖进口设备,存在价格高、维修慢,一旦损坏就会瘫痪等诸多痛点。选择DB550,不仅是支持国产仪器,更是对其技术实力的信任。”验收实测数据表明,DB550多项性能指标优于合同约定,充分验证了国产双束电镜的可靠性与先进性。
DB550以其卓越性能与用户友好的设计,赢得了杭电师生的高度认可。电子信息大仪中心的吴飞妹老师分享使用体验时表示:“DB550的中文操作界面布局合理,功能分区清晰,操作如同使用智能手机般直观。其导航功能精准便捷,样品定位高效;自动亮度对比度调节、自动聚焦和自动像散等功能,让设备能一键优化成像状态,极大提升科研效率,尤其对学生等新手用户极为友好。”更令人印象深刻的是,DB550在连续72小时运行后,成像依然清晰稳定,分辨率始终保持高水平,展现了出色的稳定性。
不仅提供高性能设备,更以专业服务为客户创造附加价值。从设备选址到安装调试,工程师团队展现了超乎职责的敬业精神。郑雪峰主任回忆:“选址阶段,国仪工程师多次赴校检测振动、电磁干扰等环境因素,提供详尽报告与解决方案。安装过程中,工程师全程参与,确保设备平稳落地。培训阶段,国仪提供一对一指导,针对我们的需求量身定制课程,深受师生好评。”这种“超预期”的服务理念,让杭电师生感受到的专业与用心。
谈及扫描电镜技术联合实验室的未来,郑雪峰主任表示,在国家倡导科研资源开放共享的背景下,杭电计划以DB550为依托,探索仪器市场化运营。“FIB设备应用场景广泛,涵盖半导体失效分析、纳米器件制备等领域。通过规范化的对外服务,实验室不仅能覆盖设备维护与运营成本,还能扩大平台影响力,形成‘以机养机’的良性循环,为高校仪器市场化提供参考。”
标签:双束电镜
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